中古 FSI / TEL / TOKYO ELECTRON Zeta G2 #9204590 を販売中

FSI/TEL/TOKYO ELECTRON Zeta G2は、半導体産業であるMEMSなどのプロセスにエッチングおよびリソグラフィ機能を提供するための高度な独自技術で設計されたフォトレジスト機器です。FSI Zeta G2は、優れたエッジアキュイティと高解像度を提供し、メーカーが一流の製品を生産するのを支援します。原子層成膜とプロセス制御の2つの基本技術を統合し、高度なフォトレジストシステムを構築しています。TEL Zeta G2は、精密で均一なエッチングを提供するために、最新のプラズマソース技術で構成された大気圧力エッチングです。フィルムをより正確かつ確実にエッチングするように設計されており、高いアスペクト比エッチングと高いエッチング速度の均一性を提供します。このユニットはまた、異なるプロセス条件でエッチングを強化するのに役立つ改良された真空チャンバーPIDコントローラを備えています。ゼータG 2はまた、高いアスペクト比のエッチング、正確なウェーハアライメント、およびオーバーレイ精度を組み合わせたリソグラフィに対するシステムベースのアプローチを持っています。これは、エッチング処理中に均一で反復可能なパターニング性能を確保するために、高スループットのリソグラフィー・トレースで構成されています。さらに、高度な自動光学計測機能を備えており、プロセス結果のより正確な測定を可能にします。TOKYO ELECTRON Zeta G2には、完全に自動化されたクラスタツールも付属しています。この自動化クラスタツールは、不正確なエッチングやリソグラフィによる故障が少なく、プロセス時間を短縮するのに役立ちます。クラスタツールは、プロセスレシピの標準化にも役立ち、ユーザーは1回の実行で複数のプロセスを設定できます。全体として、FSI/TEL/TOKYO ELECTRON Zeta G2は、MEMS製造などのプロセスに優れたエッチングおよびリソグラフィ機能を提供する高度なフォトレジストマシンです。エッチングとリソグラフィ、高度な自動クラスタツール、改良された真空チャンバーPIDコントローラ、およびより正確な結果を保証するための自動光学計測のための独自の技術で設計されています。FSI Zeta G2を使用すると、製造業者はより時間とコスト効率の高い方法で高品質の製品を達成することができます。