中古 FSI / TEL / TOKYO ELECTRON Zeta 300 #9158152 を販売中

FSI/TEL/TOKYO ELECTRON Zeta 300は、単一の統合プラットフォームで基板をエッチング、開発、印刷できる高性能フォトレジスト機器です。このシステムは、高度なエッチング速度と精度と、今日の最先端のフォトレジスト材料との優れた互換性を備えています。FSI Zeta 300は、FSIおよびTELの高効率UVソースと高速パターニングおよびイメージング機能を統合しています。このユニットは、最大200mmのサイズの基板に対応でき、高スループットで高速サンプルアクセス、高密度パターニングを提供します。TEL Zeta 300は、調節可能な照度、照明の均一性、および高度なトリムエッチング機能を備えたさまざまなエッチングオプションを提供します。統合されたUVソースは、高速で高品質のエッチングレートと効率的なパターニングを提供できます。また、プログラム可能な露出パラメータ、パターニングマスク、自動基板処理などの強力なオートメーション機能を備えています。このツールはまた、高度な超微細制御機能を備えており、エッチング速度の精密な調整、クリーン度の向上、残留レジスト比を可能にします。これは、露光パラメータの直接制御、調整可能な照明の均一性、および真の高精度、低ゆがみパターンとイメージングなどの機能の組み合わせによって達成されます。東京電子ゼータ300は、半導体、MEMS、高周波デバイスなどのフォトレジスト材料との優れた互換性を提供します。このアセットは、自動化されたプロセス制御機能により、高い信頼性を保証します。このモデルは信頼性のために設計されており、ホット/コールドクリーニングサイクル、自動基板表面特性評価、および基板保護機能を提供します。ゼータ300はまた、ますます厳しい環境規制を満たしながら、プロセス・コストを削減する、省エネ能力を誇っています。設備は資源を節約するだけでなく、労働者の危険物への曝露を減らします。システムはまた、プロセスを監視するための高度なデータ会計と記録保持を提供しています。結論として、FSI/TEL/TOKYO ELECTRON ZETA 300は、優れたエッチング精度、迅速なサンプルアクセス、高スループットでの高密度パターニング、および高度な超微細制御を誇る最先端のフォトレジストユニットです。半導体、MEMS、高周波デバイスに最適です。このツールはまた、省エネ、作業者の安全、プロセスコストの削減、およびプロセス監視機能を保証します。