中古 FSI / TEL / TOKYO ELECTRON Zeta 300 #9149325 を販売中

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ID: 9149325
ウェーハサイズ: 12"
ヴィンテージ: 2009
Spray cleaning system, 12" 2009 vintage.
FSI/TOYKO ELECTRON FSI/TEL/TOKYO ELECTRON ZETA 300は、光学部品の反射防止(AR)コーティングに特化したフォトレジストシステムです。FSIゼータ300は、AR層の特性を最適化し、その下のコーティングの可視性を低下させるのを助けるように特別に設計されています。TEL Zeta 300は、特殊なプライミングプロセスとレジストベーキングを含む、PR(露出後抵抗)と呼ばれる2部フォトレジストコーティングプロセスを利用しています。プライミング工程では、特殊な形態の化学蒸着(CVD)を使用して、プロセス化学物質の蒸気分子の障壁として機能する炭素材料の薄い層を作成します。これは、選択したコーティングの最適な均一性を確保するのに役立ちます。レジストベーキングプロセスはプライミングに従い、PR層の厚さと接着特性を制御するために使用されます。このプロセスは、10。6ミクロンの波長の赤外線レーザーを利用して、レジスト材料が加熱され、光学表面上に「エッチングマスク」を形成する。このステップは、PR層の不適切な付着に起因するコーティング工程中の望ましくない影響を防ぐのに役立ちます。東京電子ゼータ300はまた、PR層の光学性能を評価するユニークなR&D(反射および拡散)機能を組み込んでいます。この機能により、選択したコーティングの吸収レベルを調整し、最適なレベルの光の反射と拡散機能を確保できます。最後に、ゼータ300には、光学材料の正確な3Dイメージングを可能にする自動ステレオリソグラフィーシステムも装備されています。このタイプのイメージングは、ARコーティングの性能を変える可能性のある表面の欠陥を特定し、修正するのに役立ちます。これらの機能の組み合わせは、FSI/TEL/TOKYO ELECTRON Zeta 300フォトレジストシステムの高度な精度とともに、AR層の精度と性能が不可欠なアプリケーションに最適です。
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