中古 FSI / TEL / TOKYO ELECTRON Zeta 300 #9140979 を販売中

FSI/TEL/TOKYO ELECTRON Zeta 300フォトレジスト装置は、精密なパターンを生成して複雑なフォトマスクを作成できる高精度のレジストエッチング装置です。サンプル調製からマスクの最終処分まで、エッチング工程の各ステップを制御できる高度な制御装置を搭載しています。強力なレジストスプレッダーを備えており、インピングジェットを使用して基板表面にフォトレジストを均一に広げます。また、増分露光制御ツールを備えており、基板をさまざまな波長の光に再現可能にさらし、正確なパターニングを保証します。このアセットには、基板にエッチングされたパターンのサイズ、形状、境界を測定できる統合イメージアナライザも備えています。これにより、エッチング処理を正確に制御し、最終的なフォトマスクの正確なパターンを生成することができます。ポジティブレジストスプレーとネガティブレジストスプレーを使用することで、ポジティブレジストとネガティブレジストの両方をエッチングすることができます。さらに、装置は、基板のライフサイクルと安定性を向上させるために、オーバーコート、アッシング、ベーキングなどのさまざまなエッチング後処理を適用することができます。FSI Zeta 300フォトレジストシステムは、精度と精度が高いため、半導体業界で使用するために設計されています。優れた性能と幅広い機能により、正確に定義された特徴と形状を持つフォトマスクの製造に最適です。このユニットはまた、高スループットを備えており、フォトマスクの高速生産を可能にします。さらに、その化学的互換性により、幅広いフォトレジスト材料を使用することができます。さらに、ユーザーフレンドリーなインターフェースにより、機械のセットアップと操作が容易になり、高度な自動化により、オペレータが一貫して再現可能な高精度パターンを生成することが容易になります。