中古 FSI / TEL / TOKYO ELECTRON Zeta 300 #293639153 を販売中

FSI/TEL/TOKYO ELECTRON Zeta 300は、高精度リソグラフィ作業用に設計された特殊フォトレジスト装置です。このシステムは、主制御ユニット、光源、顕微鏡、チャンバー、ウェーハステージ、ウェーハキャリアなど、多くのコンポーネントで構成されています。メインコントローラには、ユニットを監視するコンピュータと、マシンのパラメータを調整するプログラム可能なコントロールが含まれています。光源は、パターンを作成するために、フォトレジストを正しい波長にさらすように設計された紫外線です。顕微鏡は、光をフォトレジストに正確に集中させるために使用され、最適な画像解像度を調整することができます。チャンバーは、内部にコンポーネントを収容し、きれいな、ほこりのない環境を維持するための大きな容器です。ウェーハステージは加工時にワークを動かすために利用され、ウェーハキャリアはフォトレジストがチャンバー内で最適な位置にあることを保証するために使用されます。そのコンポーネントに加えて、FSIゼータ300には、その性能を向上させるためのいくつかの機能もあります。これらの機能には、高密度投影ツール、ナノ電子顕微鏡サポート、資産のリアルタイム監視が含まれます。TEL Zeta 300は、最小線幅0。2 µm、高分解能100ナノメートルの高精度リソグラフィを提供します。0。02 µm未満のアライメント精度と0。6 µmの焦点深度を維持することができ、再現性と信頼性の高い結果を得ることができます。さらに、ワークを素早く動かすことができ、最大25mm/秒のスキャン速度を実現します。TOKYO ELECTRON ZETA 300は、基板カセット、クリーニングモジュール、レジスト加工ユニットなど、リソグラフィープロセスの他のツールと組み合わせて使用するように設計されています。これらのコンポーネントはすべて、単一のユーザーインターフェイスを介して統合され、効率的で信頼性の高い動作を保証します。さらに、液体や乾式など、幅広いフォトレジスト素材に対応可能です。全体として、ゼータ300は、様々なリソグラフィ用途に適した高度なフォトレジスト装置です。これは、高精度で信頼性の高い結果を提供しながら、使いやすい機能とコンポーネントの配列を備えています。