中古 FSI / TEL / TOKYO ELECTRON Zeta 300 G3 #9397351 を販売中
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ID: 9397351
ウェーハサイズ: 12"
ヴィンテージ: 2006
Spray cleaning system, 12"
(2) Chemical canister consoles
Titanium turntable style
Type: Robot
BROOKS AUTOMATION 2406-V2 Robot
STAUBLI TX90XLSCRfsi2 Robot
Does not include Hard Drive Disk (HDD)
Process modules:
Fluid Delivery Module (FDM)
Process Module (PM)
Material Handling Module (MHM)
Multi Position (MP)
Material Handling System (MHS)
Canister console
Power distribution cabinet
Canisters:
(3) H2O2
H2SO4
NH4OH
HCL
DHF
Missing parts:
Robot
PC
2006 vintage.
FSI/TEL/TOKYO ELECTRON Zeta 300 G3フォトレジスト装置は、半導体デバイスの製造を容易にするために設計された最先端の自動生産ツールです。FSIゼータ300 G3は、高度なフォトリソグラフィのための複数のアライメントオプションと多層ペリクルシステムを備えた高解像度の10ミクロンのステッパーを備えています。フォトレジストユニットは、複雑なパターンを迅速かつ高精度に生成することができます。TEL Zeta 300 G3は、顕微鏡と出力プラットフォームとして倍増する高精度のレンズアセンブリを備えています。これにより、ユーザーは処理されたフォトレジストを簡単に表示および操作できます。このマシンには、自動カセットからカセットへの転送ツールも含まれており、ユーザーは回路を迅速かつ正確にロードおよびアンロードすることができます。ゼータ300 G3は、ナノメートルで測定されたサブミクロンの特徴を作り出すための優れた分解能を提供します。このアセットは、複数の波長と偏波設定を使用して、レジストマスクパターンの正確な位置決めと複製を保証します。部屋の内部はきれいで、有効な抵抗の処理のための酸素制御の高度とパージされます。東京電子ゼータ300 G3の高度な多層ペリクルモデルは、フォトレジストの層を均等かつ正確に堆積させることを可能にします。内部シャッターは電子的に制御され、フォトリソグラフィープロセスの高いスループットと精度を可能にします。パターンのテンプレートは、選択したCADソフトウェアを介して簡単に機器にインポートするか、内部で生成することができます。FSI/TEL/TOKYO ELECTRONゼータ300 G3は、フォトレジスト処理の真のパワーハウスです。その高度なイメージングおよびアライメントシステムは比類のない精度を提供し、ペリクルシステムはレジスト層が均等に堆積することを保証します。複雑なパターンを最大限の精度で素早く処理できるため、半導体デバイスの効率的な生産が可能です。
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