中古 FSI / TEL / TOKYO ELECTRON Zeta 300 G3 #9181244 を販売中

ID: 9181244
ウェーハサイズ: 12"
Spray cleaning systems, 12" Canister consoles: (6) Canisters, PTFE neck, No DVs (2) 4-Position PVC-C consoles Burst element caps H2S04 Aspirator kit, 1/4" (6) MYKROLIS Filters, QCDZ30P3F (2) Chemical samplings / Shutoff boxes MYKROLIS Filter WDFVATX2F (2) CC Drip-trays (5) 3/8" and (1) 1/2" CC Tubing, 10m MHM: STABULI TX90cr Cassette handler Powder coated facade assembly (4) PFA/Ti Wafer carriers, 12", 25-slots (4) ASYST Load ports 0.07 Micron PTFE ULPA filters BROOKS Wafer handler and controller Fluid delivery module (PVC-C): (5) 30-300cc Flow meters and operators 500-900cc Flow meter and operator TREBOR 480V, 60kW Quartz DI heater Process module: HALAR cabinet 5-Port side bowl spray posts (3) PTFE Drain valves (3) PFA P-Traps 2-Position 12" PFA turntable 6-Valve chemical mixing block Turntable hoist assy Hot and cold rotary union (2) Processes and cabinet exhaust damper IR Heater with bypass ViPR Hardware included Operation and maintenance manuals Digital versions 2008-2009 vintage.
FSI/TEL/TOKYO ELECTRON Zeta 300 G3は、マイクロエレクトロニクス、バイオメディカル、光学ファブリケーションの微細化を必要とするアプリケーション向けに、精密かつ再現可能なリソグラフィ用に設計されたフォトレジスト機器です。ステッパー、スキャン、フリップチップアライメント機能などの高度なリソグラフィ機能を搭載し、最新の電解技術を使用しています。FSI Zeta 300 G3は、ユーザーがプロセス時間の短縮と優れた結果を持つさまざまなパターンレイアウトを製造することを可能にする高度なi-lineユニットです。TEL Zeta 300 G3フォトレジストマシンは、処理された高速画像処理と独自の高度なリソグラフィ技術を組み合わせて、歪みのない高精細画像を提供します。最適なイメージングプロセスと高解像度パターニング機能を提供し、サブ100nmラインやスペースなどの小さな構造を生成できます。また、ステッパー、スキャン、フリップチップアライメント機能を備えており、生産基板上に正確なパターン配置を行うことができます。東京電子ゼータ300 G3は、レジストフィルムからの汚染を除去するために電解液を使用し、基板表面にレジストソリューションを適用します。これにより、最高レベルの歪み制御が保証され、複数のパスが不要になります。基板表面にバインダーを塗布し、リソグラフィ結果を改善し、プロセス時間を短縮します。このツールには、画像の解像度とコントラストを向上させるために焦点を調整できる可変焦点レンズも装備されています。さらに、ゼータ300 G3には、ユーザーが露光源の強度と解像度を調整することができるソース調整セクションが装備されています。この機能により、レジスト処理条件を変更することなく、露光量を微調整できます。さらに、FSI/TEL/TOKYO ELECTRON Zeta 300 G3は、ユーザーの特定の特性に自動的に校正できるように構成することができます。全体として、FSI Zeta 300 G3は、ステッパー、スキャン、フリップチップアライメント機能など、多くの高度な機能を備えたフォトレジスト資産です。また、最高レベルの歪み制御を確保するための独自の電解液、および画像の最大精度のための可変焦点レンズとソース調整セクションを備えています。その結果、TEL Zeta 300 G3は、正確なパターニングを必要とするあらゆるマイクロエレクトロニクス、バイオメディカルまたは光学加工に最適なツールです。
まだレビューはありません