中古 FSI / TEL / TOKYO ELECTRON Zeta 300 G3 #293600195 を販売中
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FSI/TEL/TOKYO ELECTRON Zeta 300 G3フォトレジスト装置は、コンピュータチップの製造に使用される半導体IC（集積回路）をパターン化するために使用されるレジストストリップ装置です。このデバイスは、最小限の機能歪みで高解像度の機能を除去するように設計されています。これは、半導体基板に使用されるフォトレジストに均一で一貫したレジストプロファイルを提示することによって実現されます。システムは、一連のレジストストリップを含むレジストストリップチャンバーで構成されています。不均一なレジストストリップは、レジストストリップを連続的に移動させ、ビーム形成ユニットのライトビームにそれらを露出させることによって作成されます。レジストストリップチャンバーはさらに加熱プレートを内蔵し、均一な温度分布を確保します。レジストストリップチャンバーはステンレス製で、内部加熱板が含まれています。レジストストリッププロファイルを歪みから保護するために、加熱プレートは、レジストストリップの表面を均等かつ穏やかに加熱するように設計されています。さらに、高度な温度制御技術は、レジストストリップの均一な温度分布を保持します。FSIゼータ300 G3フォトレジストユニットには、光成形ユニットと光検出ユニットが装備されています。光成形ユニットは、TEL Zeta 300 G3フォトレジストマシンのコアであり、レジストストリッププロファイルを作成するために使用されます。光成形ユニットによって生成されるレーザー光線は、レジストストリップの幅に広がり、光の検出ユニットは、レジストストリッププロファイルの変化を測定します。レジストストリップの幅を正確に制御できるため、レジストストリッププロファイルが正確に作成されます。最後に、東京エレクトロンゼータ300 G3フォトレジストツールには、動作温度とレジストストリップ幅を正確に制御できるアセットコントロールパネルが装備されています。さらに、パネルを使用してモデルの状態を監視することもできます。Zeta 300 G3フォトレジスト装置は、精密IC（集積回路）製造に最適なツールであり、半導体IC用の優れたレジストストリッププロファイルを達成するための完璧なソリューションです。このシステムは、レジストストリップが正確かつ均等に間隔があることを保証するだけでなく、歪みからレジストストリッププロファイルを保護するための高度な技術を利用しています。さらに、使いやすいユニットコントロールパネルにより、レジストストリッププロファイルを正確に制御できます。これらのすべての機能により、FSI/TEL/TOKYO ELECTRON Zeta 300 G3フォトレジストマシンは、高解像度のレジストストリップパターンを達成するための最適なソリューションとなります。
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