中古 FSI / TEL / TOKYO ELECTRON Zeta 300 G3 #293600193 を販売中
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FSI/TEL/TOKYO ELECTRON Zeta 300 G3フォトレジスト装置は、半導体デバイスやその他の電子製品の製造に使用される高度なフォトリソグラフィーツールです。システムは、ワークテーブル、フォトマスクレチクルステージ、リソグラフィーヘッド、フォトレジストスプレーヤー、コントローラで構成されています。ワークテーブルは、他のコンポーネントに安定したプラットフォームを提供し、スペーサアセンブリ、ウェーハ配置、およびオフロード操作に使用されます。リソグラフィーヘッドは、2軸、4軸電動ステージであり、幅広い加速度と移動速度にわたって高精度と再現性を提供することができます。フォトマスクレチクルステージは、精密XYスキャンステージであり、高解像度、高精度センサーを使用して正確な位置フィードバックを提供します。フォトレジストスプレーヤーは、ウェーハ表面の均一なコーティングに使用されます。コントローラは、ユニットの動作を提供し、必要なカメラ露出設定を維持するための計算を実行し、リソグラフィーヘッドとレチクルステージの動きを制御し、外部駆動力とインタフェースします。FSI Zeta 300 G3フォトレジストマシンは、ウェーハの高解像度および高スループット生産用に設計されています。直径150mmまでの基板加工が可能で、最小フィーチャーサイズは2。5 µmです。このツールは、高度な距離測定（ADM）、クローズドループのフォトレジスト有効期限制御、および低ドリフトリモート操作機能などの高度な技術を利用しています。また、特許取得済みの自動光学メンテナンス資産も含まれており、光学機器が安全で機能的であることを保証します。TEL Zeta 300 G3フォトレジストモデルは、複数のシステムの高性能、精度、統合を提供し、製造プロセスにおける歩留まりの増加とサイクルタイムの減少をもたらします。また、幅広い化学物質、フォトマスク、電子ビーム機器にも対応しています。
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