中古 FSI / TEL / TOKYO ELECTRON Zeta 300 G3 #293600179 を販売中
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FSI/TEL/TOKYO ELECTRON Zeta 300 G3は、電子機器製造用に設計された高性能フォトレジスト装置です。最先端のハードウェアとソフトウェアソリューションを組み合わせて、最新の半導体製造に最高の精度とスループットを提供します。このシステムは、最高精度のリソグラフィーイメージング、およびフォトレジスト材料の洗浄、ベーキング、および処理が可能です。照明の源は三波長LEDの配列です。LEDは3つの異なった深さの分野を提供するために独立して調節可能、優秀な焦点および最高の決断を可能にします。自動化された基板テーブルは、手動で焦点位置を設定することなく、フォトレジスト材料の最高精度の配信を可能にします。これにより、最適なプロセス精度と再現性が得られます。フォトレジスト加工チャンバーには、さまざまな加熱プラテンが装備されており、「暖かい」および「熱い」ベーク操作、およびエッチング前の処理を可能にします。このチャンバーは真空ユニットも備えており、熱拡散などの水分レベルやその他の機能を最適に制御することができます。チャンバーはさらに特殊な循環冷却機によってサポートされ、最高レベルの精度と熱調整を保証します。高精度ステッピングモータとステージアライメントツールは、自動ウェーハ伝送とともに「、Through Silicon Via」 （TSV）欠陥形成のリスクを最小限に抑えます。これにより、ユーザーの介入を最小限に抑えた効率的な製造が保証されます。さらに、アセットの包括的なソフトウェアスイートは、包括的な適応性と構成性を提供します。このモデルは、特定のレシピごとに最適化できる設定で、幅広いフォトレジストシステムをサポートしています。これにより、自己整列ダブルパターニングなどの影響の少ないプロセスのための複雑なレシピを簡単にセットアップできます。要するに、FSI Zeta 300 G3フォトレジスト装置は、高精度の半導体製造のために設計された高度なシステムです。その高度な照明、暖房、冷却機能は、包括的なソフトウェアスイートと組み合わせて、一貫した再現性のある生産結果を達成することができます。
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