中古 FSI / TEL / TOKYO ELECTRON Zeta 200 #293798027 を販売中

FSI/TEL/TOKYO ELECTRON Zeta 200は、高精度フォトマスク内で均一な微小回路構造を迅速に作成するために設計された最先端のフォトレジスト機器です。高解像度レーザースキャン機能により、複雑なデータを物理回路構造に変換することができ、複数のリソグラフィ用途に最適です。再度精度と歪みの少ないナノレベルの回路パターンを生成することができる新しいレーザー光学ユニットを採用しています。独自のオープンアーキテクチャ光学マシンは、これまでにない柔軟性を提供し、さまざまな照明条件での使用を可能にし、高い生産スループットを可能にします。FSI Zeta 200は、空気を使用して熱と列の両方の放出を低減し、安定性を向上させる、最適な印刷性能のための独自に設計された冷却ツールを備えています。高度なデータ管理システムは、復元可能な地形画像出力を備えた複数のユーザー設定をサポートし、効果的なマルチデバイス製造を可能にします。TEL Zeta 200によって生成されたフォトマスクは、優れたパターン精度、堅牢なアライメント、信頼性の高いマスク作成プロセス制御を提供する強力なEDVAS資産を持っています。さらに、このモデルには、新しいレベルのコンピュータ支援設計（CAD）、フォトマスク補正、およびバックエンド印刷評価が装備されています。この装置は、さまざまなパラメータの複数のシミュレーションを可能にし、正確なレジスト基準、最高の露光時間、およびその他のパラメータを正確に決定します。ゼータ200は、非常に信頼性が高く、効果的なフォトレジストプロセスの基礎です。その主要コンポーネントには、堅牢な光学システム、強力なEDVAS、および最高の精度と性能を確保するための高度な冷却ユニットが含まれます。独自の技術の組み合わせにより、短時間で高精度な微小回路を製造することができます。リピート精度、高スループット、スケーラビリティを兼ね備えているため、幅広い高度なリソグラフィ用途に最適です。