中古 FSI / TEL / TOKYO ELECTRON Zeta 200 #293640583 を販売中

FSI/TEL/TOKYO ELECTRON Zeta 200は、高度なフォトリソグラフィックパターニング用途向けに設計された特殊フォトレジスト装置です。光に敏感な材料を使用して基板上にパターンを作成する写真リソグラフィパターニングのプロセスを簡素化します。このシステムは、4 μ mまでの高精度と解像度を実現しています。このユニットは、350 nmから450 nmまでの広い範囲の露光波長カバレッジを持ち、紫外線UV-FELまたはHeNeレーザー照射源の下でも動作することができます。複数のマスクサイズと、石英や溶融シリカマスクなどの材料を選択できます。このマシンには、高効率で高解像度の自動検出ツールを備えた高度なプレアライナーが含まれており、自動補正機能が含まれています。このアセットは、基板とパターンの位置を自動的に検出し、マスクシフトやフォーカス変更によるエラーを最小限に抑えるために基板を正確に整列させます。FSI Zeta 200は、モデル全体の焦点調整（WSFA）機能を備えた高度なイメージングとフォーカス制御を備えており、迅速かつ正確なリソグラフィックパターニングを可能にします。フォトレジスト素材は、カセットからTEL Zeta 200にロードされ、使用状況は、オンラインおよびオフラインコントロールの機器によって追跡されます。急速充電機能により、暗室効率を最適化できます。高解像度フォトリソグラフィのために、システムは高度なSE（サブリゾリューション加速）機能とJPEG-2000データ圧縮機能を備えています。SEは、ライン幅が低く、スループットが高い基板上の迅速なパターニングを可能にし、JPEG-2000データ圧縮は、均一な高品質で大きなパターンデータをサポートします。ゼータ200は、生産性の高いワークフローで、効率的で正確で高解像度のパターンを提供するように設計されています。堅牢なユニット設計、高度なイメージングおよびフォーカス制御、およびユーザーフレンドリーな操作により、このマシンはフォトレジストベースのリソグラフィーアプリケーションに最適です。