中古 FSI / TEL / TOKYO ELECTRON Transfer Chamber #293665124 を販売中

FSI/TEL/TOKYO ELECTRON Transfer Chamberは、高度なマイクロ電子デバイスを製造するために使用されるフォトレジスト機器です。フォトリソグラフィを使用してシリコンウェーハ基板にパターンをエッチングし、複雑な電子デバイスまたはマイクロチップデバイスの機能を作成します。このユニットは、フォトレジストのアプリケーションステーション、マスクアライナー、ベーキングマシンなど、いくつかのコンポーネントで構成されています。フォトレジストアプリケーションステーションは、スピンコーティングを使用してウェーハ基板に感光材であるフォトレジストを適用します。このプロセスは、チャック上でウェーハを回転させながら液体フォトレジスト溶剤でコーティングするプロセスです。溶液を塗布すると、ウエハは紫外線（UV）にさらされます。UVライトは、マスクまたはステンシルによって指定されたウェーハ上のフォトリソグラフィックパターンを活性化します。次のコンポーネントであるマスクアライナーを使用して、ウエハをマスクに正確に登録します。これにより、マスクのパターンがウェーハのパターンと完全に一致することが確認されます。登録は、ウェーハとマスクの間の距離を測定するレーザー干渉計によって行われます。最終的なコンポーネントは、ベーキングツールです。アライメント後、ウェーハをオーブンに入れて加熱します。この硬化プロセスは、フォトレジストを、その後のエッチング処理に耐える耐久性のある長寿命のフォームにクロスリンクします。硬化プロセスが完了すると、エッチング処理を開始できます。このエッチングは、シリコンの不要な層を除去し、希望するデバイスコンポーネントを形成するパターンを作成するために使用されます。FSIトランスファーチャンバーは、複雑なマイクロ電子デバイスを作成するために使用される高度なフォトリソグラフィ資産です。フォトレジストアプリケーションステーション、マスクアライナー、ベークモデルなどのコンポーネントで構成されており、それぞれが共同で基板にパターンをエッチングします。これらのツールは、高度な電子デバイスの開発と製造に必要な精度と精度を提供します。