中古 FSI / TEL / TOKYO ELECTRON TITAN #9364338 を販売中

FSI/TEL/TOKYO ELECTRON TITANは、高度なリソグラフィ用途向けに設計されたフォトレジスト機器です。高解像度で高精度な光学系を採用しており、焦点深度が長いため、多種多様なレジストを使用することができます。このユニットは、高分解能の減圧光学機械、低圧イメージングチャンバー、マルチモードまたはシングルモード露光源、および自動制御ツールで構成されています。このアセットは、サブミクロメータ画像転送や回路切断などの高度なフォトリソグラフィープロセスに使用されます。また、露出プロセスのコストと時間を削減するのにも役立ちます。また、精度・信頼性の向上、再現性に優れ、検査精度の向上を実現しています。このモデルは、ポリマー、高k誘電体フィルム、III-V化合物、金属など、さまざまな材料に使用できます。パターニングとプロファイル制御の両方を実現する最適化されたレジストプロセスを提供します。これは、異なる材料の表面を処理するために同じパラメータを使用できることを意味します。この装置はまた、同じシステムプラットフォームに基づいているさまざまなイメージング技術を適用する柔軟性を提供します。これらの技術には、振幅変調、位相シフト、コンビネーションリソグラフィが含まれます。また、高解像度光学系により欠陥検出精度を向上させています。機械の部品には、ソース、検出器、および光学部品が含まれます。光学系はテレセントリックレンズ、高出力コンデンサー、減磁光学で構成されています。ソースにはパルスレーザーが含まれており、検出器はガウスフィルタと検出素子の線形配列で構成されています。イメージングツールは、均一な正の歪み画像を提供するように設計されており、正と負の両方のレジストに使用できます。全体として、FSI TITANは使いやすく信頼性の高いフォトレジスト資産です。焦点の長い深さと高解像度の光学系により、高度なリソグラフィ用途に最適です。精度と信頼性の向上、優れた再現性、検査精度の向上を実現します。さらに、マルチモードおよびシングルモード露出ソースにより、さまざまなレジストプロセスを適用してパターニングとプロファイル制御を実現できます。