中古 FSI / TEL / TOKYO ELECTRON TITAN #293748010 を販売中

FSI TITANは、FSIインターナショナルが開発したフォトレジスト機器です。半導体およびマイクロエレクトロニクス業界向けに高分解能で高精度なリソグラフィーソリューションを提供するように設計されています。TITANシステムは、独自の光活性化法と独自のソフトウェアプラットフォームを利用して、シリコンウェーハなどの基板上にパターンを作成します。FSI TITANユニットは、高精度露光機、独自のレジストソリューション、関連化学など、いくつかのコンポーネントと技術で構成されています。基板を電子、紫外線、X線ビームに選択的に露出させるために設計された感光性高分子材料である、電子感受性TITANフォトレジストが中心です。フォトレジスト材料は、高分解能（25ナノメートルまで）の機能を備えており、高アスペクト比の機能に適しています。FSI TITANアセットには、ナノメートルレベルの解像度を提供する高精度の露出モデルが含まれており、シリコンウェーハなどの基板上の単純なパターンと複雑なパターンの両方を生成するために使用できます。この装置は、高速で動作し、パターン基板に電子、X線、および紫外線露光源の広い範囲を利用することができます。また、露出設定や最適化をサポートする独自開発のソフトウェアアプリケーションも採用しています。TITANユニットは、産業規模の生産のために設計されており、25ナノメートルまでの複雑な形状、高アスペクト比の特徴とパターンを作成することができます。優れた解像度と精度を提供し、半導体製造に特に重要です。また、半導体基板の広い範囲で高分解能パターンを生成するための高度なリソグラフィ機能を提供しています。最後に、マシンはセットアップを簡素化し、効率的な操作を可能にする独自のソフトウェアによって制御されます。