中古 FSI / TEL / TOKYO ELECTRON Saturn #9237266 を販売中

FSI/TEL/TOKYO ELECTRON Saturnは、集積回路の製造・設計に使用されるフォトレジスト機器です。このシステムは、基板の化学エッチングと物理的な研磨を伴う化学的機械平面化（CMP）プロセスのために特別に設計されています。このユニットは、半導体デバイスの性能、信頼性、歩留まりを向上させるために使用されます。FSIサターンマシンは、スピンコーター、開発トラック、および自動ウェーハ計測ツール（AWMS）の3つの主要コンポーネントで構成されています。スピンコーターは、ウェーハにフォトレジストフィルムを適用するために使用されます。開発トラックはフォトレジストの開発を担当しています。AWMSは、スピンコーターのスピン速度と時間、および開発トラックの温度と時間を決定し、各エッチングおよび研磨プロセスの最適なパフォーマンスを保証します。TELサターンアセットは、物理的な研磨、化学エッチング、エッチング、研磨、ベーキング、ハードベーキング、スピンコート、洗浄など、さまざまなCMPプロセスを実行することができます。これらのプロセスはすべて、モデルのソフトウェアを使用して制御されます。CMPプロセスパラメータ（速度、圧力、温度など）を最適化することで、半導体デバイスの性能、信頼性、歩留まりを向上させることができます。また、エッジパッシベーション、バルクレジストエッチング、サイドウォールイメージ転送など、さまざまなポストプロセス機能も備えています。安全性に関しては、土星はフォトレジストユニットのすべての要件を満たしています。複数の安全センサーを搭載しており、危険の可能性のあるリスクや警報オペレータを検出します。非常停止機能には、取扱説明書と安全ガイドが含まれており、オペレータが機械を理解し、安全手順に従うのを助けることができます。結論として、TOKYO ELECTRON Saturnは、集積回路を設計および製造するための高度なツールです。最適化されたCMPパラメータとポストプロセス機能を備えており、信頼性と高品質の出力を保証します。この資産はまた、多数の安全機能を提供し、マイクロチップのエンジニアリングと製造にとって安全で効果的なソリューションとなっています。