中古 FSI / TEL / TOKYO ELECTRON Saturn #9236451 を販売中

FSI/TEL/TOKYO ELECTRON SATURNは、フォトリソグラフィ、計測、光学および電気接触イメージング、欠陥検査など、さまざまな用途向けに設計されたフォトレジスト機器です。高解像度イメージング機能から高度な自動化およびコンピュータアシスト解析機能まで、さまざまなアプリケーションに対応するさまざまな機能を提供します。このシステムは、可変ギャップソース/検出ユニットを備えた新しい光学レイアウトを中心に構築されており、機械はさまざまなサイズと形状の信号を検出することができます。高速イメージングツールと自動ウェーハ解析アセットを組み合わせたこの光学レイアウトにより、FSI Saturnは高精度の画像キャプチャと特性評価のための強力なツールとなります。TEL Saturnモデルは16ビット解像度のデジタルイメージングおよび制御機器で、さまざまなコンピュータプラットフォームで動作できます。広視野（6。5x6。5mm）で大きな物体や表面を撮影し、0。8ミクロンまで分解能を提供します。可変ギャップソース/検出システムにより、さまざまな物理環境で最適な画像の鮮明性と精度を実現します。また、半導体ピラミッドや円筒構造などの自動検査で最大16パターンの認識が可能です。機械の中核には、特許取得済みの高度な画像キャプチャ技術があり、顕著に正確な画像処理と信号解析機能を可能にします。Saturnは、画像キャプチャハードウェアから高解像度のデジタル信号を読み取る専用のリニアエンコーダと、特許取得済みの表面トポロジ解析干渉計テクノロジーを使用して、波面の歪みと画像コントラストを測定できます。この機能を組み合わせることで、幅0。5ミクロンという小さな欠陥を検出し、厚さ200ミクロンの個々の構造を顕著な精度で測定することができます。TOKYO ELECTRON SATURNのオートメーションアセットは、すべてのコンポーネントが協力して高品質の画像を継続的に生成できるように設計されています。このモデルには、自己校正、自動化されたプロセス制御、および予測メンテナンスのためのインテリジェントなアルゴリズムが含まれており、精密制御アプリケーションに最適なソリューションです。さらに、FSI/TEL/TOKYO ELECTRON Saturnのカスタムソフトウェアパッケージには、インタラクティブおよびバッチ修正画像解析用のツールが含まれています。要するに、FSI土星フォトレジスト装置は、高精度の画像をキャプチャして特徴付けるための強力な機能を表しています。可変ギャップソース/検出システム、高速イメージングユニット、自動ウェーハ解析機、高度な自己校正および予測保守機能により、多くの高度な製造プロセスに理想的なプラットフォームとなっています。TEL Saturn Toolの表面トポロジーの正確な特性評価と小さな欠陥の検出により、半導体製造から印刷および小型化プロセスに至るまで、多くの業界にとって貴重な資産となります。