中古 FSI / TEL / TOKYO ELECTRON Saturn #9036933 を販売中

FSI/TEL/TOKYO ELECTRON Saturnは、複雑で高密度な半導体デバイスを製造するための正確で正確なリソグラフィープロセスを提供するために設計されたフォトレジスト機器です。フォトレジストシステムは、光源、投影光学ユニット、プロセスチャンバーで構成されています。光源は、ウエハーの表面にフォトレジストを露出させる紫外線を提供します。プロジェクションオプティクスマシンは、パターンのイメージをウェーハに投影し、構造を正確かつ正確に配置することができます。プロセスチャンバーは、ウェーハを露出させるための加圧されたプロフェッショナルなリソグラフィ環境を提供します。FSIサターンフォトレジストツールは、磁気ランダムアクセスメモリ（MRAM）、静的ランダムアクセスメモリ（SRAM）、デジタル信号処理（DSP）、チップ上の資産（SoC）、フィールドプログラマブルゲートアレイ（Frocors）などのデバイス上の深い紫外線（DUUV B B B）放射放射が可能です。このモデルは、シリコン、ゲルマニウム、圧電石英などの基板材料の回路を露出させることができます。装置のデフォルトの開発アプリケーションは、0。14umから0。6umまでの最小の機能サイズを提供するとともに、露光空間全体にわたって均一な分解能を利用することです。露出方法には、トップダウンのシングルウェーハ露出、サイドバイサイド露出、複数のマスク露出が含まれます。TELサターンフォトレジストシステムは、オンウェーハアライメントマークを使用した超精密パターンアライメントも可能で、0。037マイクロメートルまでの精度が可能です。TOKYO ELECTRONサターンフォトレジストユニットは、マイクロスケールのデバイス開発のための信頼性とシンプルなプラットフォームを提供するように設計されています。この機械は低消費電力であり、大規模および小規模のプロセスチャンバーを装備することができます。長波長の紫外線源を使用して、正確なリソグラフィ露光を確保し、クリーンで均一なプロセスのための高度な光学技術を採用しています。工具には電動ウェーハステージが内蔵されているため、ショットの位置合わせ時に正確な制御性と精度が得られます。さらに、サターンフォトレジストアセットは、タッチスクリーンのインタラクティブコントロールインターフェイスで設計されており、リソグラフィープロセスの簡単な操作と監視を可能にします。全体として、FSI/TEL/TOKYO ELECTRON土星フォトレジストモデルは、マイクロスケールのデバイスを開発するための信頼性の高い、正確で正確なプラットフォームをユーザーに提供します。様々な露光方法、電動ウェハステージと長波長UVソースの組み合わせにより、装置は露光空間全体にわたって均一な解像度で0。14umから0。6umの範囲の機能サイズを提供することができます。その強力なソフトウェアカスタマイズ機能とタッチスクリーンのインタラクティブ制御インターフェースにより、システムはさまざまなリソグラフィープロセスにとって簡単で効果的なソリューションとなります。