中古 FSI / TEL / TOKYO ELECTRON Saturn #293827880 を販売中

FSI Saturnは、先進的な半導体製造プロセスで使用されるフォトレジスト装置の一種です。リソグラフィとエッチングからなる2段階のプロセスで、半導体ウェーハ上で非常に微細で複雑なパターンを製造することができます。最初のステップでは、フォトレジスト層は、パターン化されたフォトマスク、希望のパターンを作成するために設計されたマスクを介して光にさらされます。このプロセスは、エッチング抵抗特性を持つフォトレジスト層に化学反応を生じます。エッチング抵抗性フォトレジスト層は、その後のエッチング工程のマスクとして機能し、フォトレジストが残っている領域で半導体ウェーハをエッチングする。これにより、ウェーハから余分な材料を取り除くことで、望ましい電気回路が作成されます。土星フォトレジストシステムは、半導体ウェーハ上で小さなパターンやデザインを作成する必要がある場合に特に有益です。パターン分解能は他のフォトレジストシステムよりもはるかに高いため、より小型で細かい回路を使用してデバイスを作成することができます。このユニットは、2光子吸収技術を使用することで、フォトレジスト層をラミネート材料や追加材料なしで露出させることができ、非常にきれいで整理されていない露出プロセスを可能にします。フォトレジストは他のシステムよりも高感度であるため、代替システムに比べて優れたパターン分解能を提供します。FSIサターンフォトレジストマシンは、より高い解像度による迅速な生産時間とコスト効率などの利点を約束します。さらに、2光子吸収技術は、製造メーカーがより小型で細かいパターンを生成できることを意味し、従来よりも優れた機能とアプリケーションを持つデバイスを作成することができます。