中古 FSI / TEL / TOKYO ELECTRON Saturn #293811533 を販売中

FSI Saturnは、高度なIC技術の高度なリソグラフィ処理用に設計された高性能フォトレジスト装置です。このシステムは、高速熱真空処理ステーションと結合した高解像度のデジタルイメージングユニットで構成されています。半導体ウェーハ上にサブミクロン、高アスペクト比の機能を作成するための高精度のイメージングおよびエッチング機能を可能にします。サターンは、デジタルイメージングと熱真空処理技術を組み合わせ、非常に正確で再現性が高く信頼性の高いリソグラフィ結果を提供します。光学的に補正されたフルフィールドおよび大面積の画像処理機能を1回の露光で提供する独自のデジタル画像取得機を使用しています。さらに、主要なサブミクロンリソグラフィ機能を実現するための高度な統合解像度強化技術（RET-E）ツールを提供しています。このツールには、ハイエンドの真空加工ステーションと熱処理コントロールユニット、直感的なマルチゾーンコントロールパネルが含まれています。これにより、処理パラメータを正確かつ再現性のある正確な制御が可能になり、優れた均一性とプロセス結果を持つ非常に高い歩留まり製品が得られます。FSI Saturnはまた、複数の処理層に対応するために、広いアクティブ領域と多様なサンプル処理オプションを備えています。アセットは、迅速なイメージングと処理のターンアラウンドタイムを提供するように設計されており、トータルサイクルタイムはわずか1〜2分です。さらに、データの監視、ロギング、分析のための統合モデルがあり、大幅なコスト削減につながります。この装置は、運用コストと操作の容易さを考慮して設計されており、コンパクトなソリューションで幅広いリソグラフィーオプションを提供します。土星は、高度なリソグラフィ処理能力を備えた、費用対効果の高い機能豊富なフォトレジストシステムです。独自のデジタル画像取得ユニットと高度な解像度強化技術により、高精度で信頼性の高い画像処理およびエッチング結果を提供します。FSI Saturnは、高速な処理時間とデータ分析用の統合マシンを備えており、ハイエンドの製造および研究アプリケーションに最適なソリューションです。