中古 FSI / TEL / TOKYO ELECTRON Saturn #293748011 を販売中

FSI Saturnは、マイクロリソグラフィでフォトマスクを製造するために使用されるフォトレジスト機器で、半導体やその他の電子部品にパターンを転送するために使用されます。サターンシステムは、独自のエキシマレーザーを使用して、深い紫外線を放射し、フォトレジストからフォトマスクを作成します。フォトマスクは、エキシマレーザーを使用してフォトレジストを2回露出する二重露光プロセスを使用して製造され、露光の間にフォトレジストを焼く中間ステップがあります。FSIサターンユニットによって生成されたフォトマスクは、0。25ミクロンの分解能と12。5ナノメートルの均一性を備え、非常に正確です。この機械は、0。2ミクロンまでの浅い特徴を露出する能力と、形状とサイズが均一なフォトマスク全体の特徴を備えているため、最先端の半導体製造プロセスに適しています。サターンツールは、標準的なフォトレジストと高度なフォトレジストの両方と互換性があり、幅広いマスク設計と材料に対応するように設計されており、製造メーカーはさまざまな用途で高精度で複雑なフォトマスクを作成することができます。アセットには、プロセスレシピ、露出期間、モデルコントロールなどのソフトウェアツールも含まれており、ユーザーは最小限の労力で目的のパターンを簡単に作成できます。さらに、FSI Saturn装置は、生産に入る前に材料とプロセスを事前に認定することができるため、ユーザーは設計が期待される品質仕様を満たすことを安心できます。これは、開発段階で無駄になる時間を削減するだけでなく、フォトマスクが使用可能なときに最適な品質になることを保証するのに役立ちます。土星システムは、高度なマイクロエレクトロニクス部品を製造するための貴重なツールであり、ユーザーフレンドリーなプラットフォームで高い精度と性能を提供します。