中古 FSI / TEL / TOKYO ELECTRON Saturn #293746517 を販売中
URL がコピーされました!
タップしてズーム
FSI Saturnは、マイクロエレクトロニクスデバイス製造分野のリーダーであるFSI International Inc。によって開発された先進的なフォトレジスト機器です。特許取得済みの光加工装置を使用し、高精度エッチングとフォトイメージングのための光露光と熱処理技術を組み合わせています。このマシンは、フォトレジストが強い放射線にさらされている領域でも、効果的な動作のための高度なoptomechanicalおよび電気的実装を備えています。Saturnは、フォトマスク、コンタクトホール、小型形状、その他の高精度フォトプロセッシングのニーズを処理するための厳格な基礎をユーザーに提供します。ツールの操作の中心には、線形可変密度マスク（LVDM）と光散乱球があり、正確な露出制御を提供し、フォトレジストパターニングの品質を向上させます。LVDMは、フォトレジスト層に正確にトレースされる非常に制御された線形ビットパターンを生成しますが、散乱球は光露出メカニズムのダイナミックレンジを低減し、従来の方法よりも精密な制御を提供します。FSI Saturnは完全に自動化されており、露光時間とフォトマスクの範囲で動作するように設定することができます。このアセットにより、露光パターン、均一性、コーティングに関してフォトレジスト層を最適化することができます。このモデルは、幅広いユーザーやアプリケーションに最適で、高精度のイメージングとプロセス統合のニーズを可能にします。カスタマイズされた開発のための利用可能なオプションは、中小企業が独自のニーズのための製品をコスト効率よく作成することができます。土星装置は極端な環境条件でも使用に適した信頼性の高い装置です。このシステムは、アライメントと焦点調整のための光学フィードバックを提供し、正確なパターンと制御イメージングを保証します。このユニットには、フォトレジスト層の汚染を防ぐために供給された自動洗浄も含まれています。FSI Saturnは、高精度で低コストのマイクロエレクトロニクス処理を実現するために理想的です。このマシンは、卓上または床の実装に適した小さなフットプリントを備えており、その高度な性能は、フォトレジスト加工のための魅力的な産業用ツールになり、サイクルと拒絶率を低減するのに役立ちます。
まだレビューはありません