中古 FSI / TEL / TOKYO ELECTRON Saturn MP #9233649 を販売中

FSI/TEL/TOKYO ELECTRON Saturn MPは、MEMS（マイクロエレクトロメカニカルシステム）やバイオメディカルデバイスなどの超微細感受性デバイスの製造を容易にするために設計された、全自動の高解像度フォトレジスト機器です。低線量の均一性を備えた高度な露出制御を備え、100 μ mのフィーチャーサイズで最大4インチの基板加工に適しています。FSI Saturn MPにはデジタルポリゴナルスキャナが搭載されており、シングルパスで最大5 μ mの解像度を実現し、シングルターゲットモードとマルチターゲットモードの両方でスキャンすることができ、処理の微調整において柔軟性を提供します。さらに、このマシンは特別なキャリブレーションテーブルを備えており、ツールと互換性のあるさまざまなオーバーレイソフトウェアを使用する際に正確なアラインメントを保証します。TEL Saturn MPは、簡単なセットアップと操作を可能にする直感的なインターフェイスをユーザーに提供し、初心者ユーザーにも理想的です。Si（シリコン）、ポリマー、ガラス、石英材料、伝統的なウェットプロセスなど、さまざまな基板をサポートしています。これらの機能はすべて、資産を非常に汎用性が高く、最も困難な材料の効果的なパターン化を可能にします。このモデルは、プロセスデータの追跡と記録も可能で、学習やトラブルシューティングにとって非常に有用です。この機能は、複雑な基板に対処する際に特に有益です。装置は、ユーザーにパターンの詳細な分析と最適化の結果を提供することができます。東京エレクトロンサターンMPには、モジュール式の化学ステーションがあり、必要に応じて素早く簡単に交換できます。特殊な加工が必要な基材を扱う場合に特に便利です。全体として、Saturn MPは最先端のフォトレジストシステムで、超微細感受性デバイスの製造を容易かつ効率的にするように設計されています。高度な露出制御、直感的なインターフェース、モジュラー設計の化学ステーションを備えたこのユニットは、強力で信頼性の高いフォトレジストソリューションをユーザーに提供します。