中古 FSI / TEL / TOKYO ELECTRON Saturn MP #9233648 を販売中

FSI/TEL/TOKYO ELECTRON Saturn MPは、半導体製造および高度なリソグラフィープロセスで使用される汎用性の高いフォトレジスト機器です。半導体加工、マイクロエレクトロニクスデバイス製造、ナノテクノロジー、高度なリソグラフィおよびその他の表面実装領域など、幅広い作業のために設計されています。このシステムは、パターニング、アライメント、エッチング、計測、堆積など、ウェーハ製造のための包括的なソリューションを提供します。その最先端の機能により、今日の半導体産業の厳しい要件を満たすことができます。FSI Saturn MPユニットは、メインコントローラ、プロセスモジュール、ロボットアームの3つのコアコンポーネントで構成されています。コントローラは、マスクアライナー、ステッピングモーター、レジストローラー、スピンコーター、大気モニター、その他のアクセサリーなど、すべてのプロセスを制御し、外部機械とのインタフェースを担当しています。プロセスモジュールは、フォトリソグラフィープロセスをサポートするために必要なすべての電力、加熱、冷却機能を提供します。ロボットアームはウェーハの積み降ろしを担当し、ウェーハサイズの範囲に合わせて調整することができます。TEL Saturn MPは、効率を最大化し、ダウンタイムを最小限に抑えるためのさまざまな高度な機能を提供します。これには、迅速なパターン調整のためのマルチテンプレートのユーザーインターフェイスと、文書管理および統計レポートが含まれます。また、シングルクリックウェハハンドリングにより、ウェハスタートアップパラメータにすばやくアクセスでき、フォトリソグラフィーレシピのリモート編集と管理のための包括的なレシピ管理ツールも提供しています。また、オプションのオフライントレーサビリティにより、品質保証のためにさまざまなウェーハステップを監視および記録できます。TOKYO ELECTRON Saturn MPは、ポリマー、連続トーン、フォトレジストなど、さまざまなレジストケミストリーと互換性があります。業界をリードする消耗品およびスペアパーツ製品ラインのフルラインと、お客様のソリューションとサポートを提供する熱心な技術スタッフがいます。これにより、安全性と最高レベルのパフォーマンスを確保しつつ、最も要求の厳しいアプリケーション要件に対応できるようになります。