中古 FSI / TEL / TOKYO ELECTRON PVDF Turntable for Mercury #9354313 を販売中

FSI/TEL/TOKYO ELECTRON PVDFターンテーブルfor Mercuryは、OEMインテグレータとファーストレベルのユーザー向けに設計された自動フォトレジスト装置です。1時間あたり最大75ウェーハの出力レートで自動スピンコーティングとベーキング機能を提供する、費用対効果の高いソリューションです。このシステムには11。8インチのスピントラックターンテーブルが搭載されており、ウェーハ上にフォトレジストを均一に分散させるための12度の傾きがあります。PVDFターンテーブルは最大3000rpmで回転駆動され、トッププレート加速度は500rpm/sec2です。調節可能なテーブルに25°cと65°cの間の流動入口の温度較差および100°cまでの裏側の暖房の温度があります。このPVDFターンテーブルは、ポジティブおよびネガティブレジスト、高温フォトレジスト、ポストコーティング処理、およびその他の関連プロセス材料など、さまざまなフォトレジスト用に設計されています。大容量設計により、セットアップ時間を最小限に抑えてスループットを最大化できます。統合されたPLCとタッチスクリーンオペレーターインターフェイスにより、液体供給ユニットを簡単かつ正確に制御できます。機械は安全な操作のためにUL証明され、耐久性のための最高基準を満たすために造られます。ターンテーブルには、真空、プレート温度などの主要機能を監視し、基板の均一性と圧力に抵抗するインライン診断ツールがあります。ユニークなソフトウェアパッケージは、投与量の制御からウェハローディングまで、レジストコーティングサイクル全体を自動化します。高度なデータロギングとレシピ管理機能も含まれており、ワンクリックで正確なプロセスのコンプライアンスを実現します。PVDFターンテーブルは、化学物質の蓄積を防ぐために、クリーンレジストの使用を促進する単一の使用、自動クリーニングノズル、排水資産を備えています。このモデルはまた、効果的なスプレーヤー設計と統合クエンチャーにより、スピンオフ廃棄物を最小限に抑えるように設計されています。水星のためのFSI PVDFの回転盤はフォトレジストの処理の必要性の広い範囲のための理想的な解決です。堅牢な設計、統合された安全機能、自動化された効率的な操作により、フォトレジストユーザーに最適です。