中古 FSI / TEL / TOKYO ELECTRON PVDF Turntable for Mercury MP #9384397 を販売中

FSI/TEL/TOKYO ELECTRON PVDFターンテーブルfor Mercury MPは、半導体ウェーハを制御可能な半径で実装・加工できるフォトレジスト機器です。パルス幅変調技術を使用して、ウェーハ半径を正確に制御します。このプロセスでは、モータにトロジアルスピンドルを取り付け、それを制御してウェーハの半径を調整する必要があります。FSI PVDFターンテーブルfor Mercury MPは、熱および水銀MPフォトレジストプロセス用のTELターンテーブル用FSIコントロールユニットのフルレンジをサポートしています。Mercury MP用のEH-030TTEL PVDFターンテーブルには、システムの正確で安全な精密動作を促進するように設計されたいくつかの機能があります。これには、ウェーハの偏心マウント/アンロードプラットフォームが含まれており、ウェーハが中央に配置されていることを保証します。また、ERPMモーターとスピンドルを搭載しており、精密制御サークルで高速ウェハスピンを可能にし、均一性と精度を実現しています。モーターはブラシレスで完全に保護ハウジングによって塵および残余の収集を防ぐために囲まれています。Mercury MP用のEH-030TPVDFターンテーブルは、過電圧保護（OVP）、過熱防止のための高出力ステージ、および精度のための統合された温度制御を備えています。精度のために校正され、ソフトウェアベースの校正用のモニター/プリンターポートが含まれています。ウェーハの集中機能により、ウェーハを正確に集中させ、PVDFコーティングによりウェーハ表面の摩耗を防止します。EH-030TTOKYO ELECTRON PVDFターンテーブルfor Mercury MPのプロセス操作は迅速かつ効率的です。主軸とすべての可動部品が保護ハウジングに囲まれているため、本質的に安全です。パルス幅の変調により、ユニットから放出される水銀光へのレジストの露出が均一になります。これにより、ウェーハに一貫した品質のレジスト層が適用されます。結論として、FSI/TEL/TOKYO ELECTRON PVDF Turntable for Mercury MPは、半導体ウェーハを制御可能な半径で実装および処理するための効率的で安全なプロセスを提供するフォトレジストマシンです。これには、精度のためのマウント/アンロードプラットフォーム、防塵用の密閉モータ、精度のための温度制御、および水銀光へのレジストの露出の一貫性のためのパルス幅変調技術が含まれています。半導体ウェーハに高品質のレジスト層を探している人にとって信頼できるツールです。