中古 FSI / TEL / TOKYO ELECTRON PVDF Turntable for Mercury MP #9384393 を販売中

FSI/TEL/TOKYO ELECTRON PVDFターンテーブルfor Mercury MPはフォトレジスト加工に特化した装置です。フォトレジストは、光にさらされて開発されたときに様々なパターンに形成することができる液体材料です。半導体デバイス、ディスプレイ、マイクロエレクトロニクス部品の製造に広く使用されています。水銀MP用FSI PVDFターンテーブルは、信頼性と一貫した結果を提供するように設計された堅牢な機器です。PVDF（ポリビニリデン・フッ化物）プラスチックを原料としています。ターンテーブルには、静的にバランスの取れた取り外し可能なスピンドルを含むさまざまな機能が装備されており、正確なフォトレジストのアプリケーションと処理を可能にします。さらに、ターンテーブル内のウェーハの正しい位置を確保するキネマティックセーフティクランプを装備しています。フォトレジストのアプリケーションシステムは、優れた均一性を提供し、材料の正確な混合を保証するように設計されており、パルスブレイク技術による一貫した反復可能なプロセスをもたらします。TEL PVDFターンテーブルfor Mercury MPには、繊細な熱管理を可能にする洗練されたマルチポイント温度制御ユニットも含まれています。東京エレクトロンPVDFターンテーブルfor Mercury MPには、ウエハーのサイズやタイプに合わせて簡単に変更できるユニークなロードピンマシンとアンロードピンが装備されています。内蔵サーモスタットにより、ウェハの温度を最適なレベルに保ち、正確なフォトレジストの適用と加工を実現します。水銀MPのためのPVDFのターンテーブルはフォトレジストの適用および処理のための優秀な選択です。極端な環境でも、これまでにない精度と一貫性を提供します。その結果、フォトレジストの製造工程に不可欠な要素となっています。