中古 FSI / TEL / TOKYO ELECTRON PVDF Turntable for Mercury MP #9364334 を販売中

FSI/TEL/TOKYO ELECTRON PVDFターンテーブルfor Mercury MP。このシステムはターボ分子ポンプに基づいており、フォトレジストの蒸着にも安定した効率的なターンテーブルの回転を提供します。フォトレジストの正確なパターニングを確保するために、Mercury MP用FSI PVDFターンテーブルには多くの高度な機能が含まれています。まず、振動を最小限に抑え、動的安定性を最大限に高めるために、取り付けプレートとレジストコーティングヘッドを含むユニットのコンポーネントを設計および構築しました。これにより、パターン化されたエラーとカバレッジの欠如を最小限に抑えながら、フォトレジストのスムーズで一貫した流れがウェーハ表面に供給されます。TEL PVDFターンテーブルfor Mercury MPも精密ロータリーシーリングマシンを搭載し、フォトレジストの再現性と正確なパターニングを可能にします。このシーリングツールは、ウェーハの周りに真空バルブを確立し、フォトレジストの汚染とマスキングを最小限に抑えます。また、ロータリーコンポーネントを活用することで、幅広い基板に合わせた隙間調整が可能となり、膜厚の手動調整が不要となります。さらに、東京エレクトロンPVDFターンテーブルfor Mercury MPは、シンプルなユーザーインターフェースと包括的なデータロギングを提供するように設計された高度なソフトウェアパッケージを備えています。このソフトウェアは、露出、硬化、アライメント、エッチングなど、さまざまなフォトイメージングプロセスの動作をサポートします。この洗練されたソフトウェアはまた、カスタマイズされたプロセス操作を可能にし、最高12008w/分のフォトレジストの処理速度で、非常に応答性があります。水銀MP用PVDFターンテーブルは、エレクトロニクスメーカーの産業ニーズを満たすように特別に設計された高度なフォトレジストモデルです。高速、高精度なパターニングと安定した動作を兼ね備えたこの装置は、基本的なコーティングプロセスから複雑な回路製造まで、フォトレジストを必要とするすべてのアプリケーションに最適です。