中古 FSI / TEL / TOKYO ELECTRON Polaris #9092981 を販売中

FSI/TEL/TOKYO ELECTRON POLARISは、集積回路製造のための高度なフォトレジスト装置です。フォトレジストは、ファブプロセスの基板にパターンや構造を転送するために使用される技術です。この特定のツールは、速度、解像度、容量の面で優れたツールです。システム内部には、高度で高速な半導体プロセッサが組み込まれています。これは、操作、データ転送、画像処理などの重要な機能を実行するユニットの中核です。また、スキャンレーザーとレンズからなる高感度光学機械があり、ディフレクターミラーと一緒に作用して正確な画像処理を行います。このツールは、デュアルビームスキャナと統合されており、三菱の特許取得済みのソリューションに焦点を当てたイメージング技術により、FSI Polarisは、前任者よりも最大2.5X高速なイメージング性能を提供できます。このアセットには、温度制御とその他の機能が含まれています。このモデルは、フォトレジストが暗い欠陥や残留物を作成しないように、露光時間を最適化して構築されています。スピードとイメージングの精度に加えて、この機器はユニークなマスクステージ機能を備えています。この機能により、ユーザーはイメージング中にフォトマスクの高さと傾きを調整することができ、サブミクロンフィーチャーの重要な寸法（CD）を正確に調整することができます。TEL Polarisはまた、Eビームおよびレーザー技術の広い範囲をサポートしており、競合技術よりも柔軟なリソグラフィーオプションを提供しています。また、このシステムには独自の高度なカメラ技術が搭載されており、ユーザーはウェーハカバレッジ全体をリアルタイムで表示できます。これにより、欠陥箇所の特定と修正が可能になり、ウェーハプロセスの制御がより効率的になります。安全面では、高度な多層安全保護機能を使用しており、安全規制が遵守され、電磁干渉による損傷から機械の重要な部品が保護されています。全体として、Polarisは、優れた結果と幅広いオプションを提供する、ユニークなフォトレジストツールです。これは、集積回路の製造に最適な選択肢であることが証明されています。