中古 FSI / TEL / TOKYO ELECTRON Polaris PR #9375500 を販売中

FSI/TEL/TOKYO ELECTRON Polaris PRは、FSI InternationalとTELが開発したフォトレジスト機器です。このシステムは、ユーザーがパターニングおよびエッチング処理の優れた解像度を達成できるように設計されています。高解像度のマスクアライナーと包括的な湿式および乾式加工ソリューションを組み合わせています。ユニット内のマスクアライナーは、サブミクロン分解能を備えたマイクロフィーチャーの精密パターニングが可能です。これは、高度なプロジェクションリソグラフィーヘッドによって達成されます。プロジェクターはまた、正確さを確保するために、可変スティグメーションと複数のオートフォーカスシステムを備えています。湿式および乾式加工ソリューションは、プラズマ処理チャンバ、スピン処理ツール、エッチングツール、基板ローダー、およびユーザーインターフェースを組み合わせた統合プラットフォームに基づいています。プラズマ処理チャンバーは、レジスト層の優れたエッチング速度と安定性を提供します。また、エッチングプロセスを正確に制御し、オーバーエッチング効果を低減できます。スピン加工ツールは、フォトレジストやその他の材料の正確なパターニングを容易にします。エッチングツールにより、非平面基板またはフィーチャーを正確に除去できます。さらに、基板ローダーは、異なる加工ツール間で基板を移動する自動化された方法を提供します。このマシンはまた、統合されたプロセス制御ツールで正確なプロセス制御を提供します。このアセットは、データロギング、他の分析システムとの通信、およびプロセスパラメータを調整してプロセスパフォーマンスを最適化するためのリモート監視ツールを備えています。さらに、露出監視やウェーハセグメンテーションなどの追加機能を搭載し、プロセス制御をさらに改善します。最後に、機器のユーザーインターフェイスは、直感的な操作とデータの視覚化を提供します。人間工学に基づいたデザインで使いやすくなっています。また、品質管理プロセスのための高度なレポート生成システムも含まれています。全体として、FSI Polaris PRは高度なフォトレジストユニットであり、ユーザーがパターニングおよびエッチング処理の優れた解像度を達成できるように設計されています。高解像度のMask Alignerと包括的な湿式および乾式加工ソリューションを組み合わせており、統合されたプロセス制御マシンで正確なプロセス制御を提供します。ユーザーインターフェイスは直感的で人間工学に基づいて設計されており、操作が簡単です。