中古 FSI / TEL / TOKYO ELECTRON Polaris 3500 #9360848 を販売中

FSI/TEL/TOKYO ELECTRON Polaris 3500は、リソグラフィおよび高解像度パターニング用途向けに設計された先進的なフォトレジスト機器です。高度なUV光源、デジタルイメージング、マルチビームアライメント技術を搭載しており、サブミクロンパターニングを可能にしています。FSI Polaris 3500のUV光源はフラットな照明を提供し、0。35ミクロンの解像度でのパターニングに適しています。1。5 mW/cm2から100 mW/cm2までの幅広い出力を備え、パターニング精度と解像度を向上させます。TEL Polaris 3500のデジタルイメージングシステムは、高解像度イメージング用の高感度センサーを備えています。マルチビーム整列技術は、複数のレーザービームを使用して露光フィールドを正確に整列させ、誤差を低減します。また、露出プロセスの正確なタイミングと不要な露出の防止のための精密シャッター制御が装備されています。ポラリス3500は、正と負のフォトレジスト、さらにはエキゾチックな材料を含むさまざまなフォトレジスト材料を処理することができます。それは低い維持およびユーザーフレンドリーであるように設計されています、従ってオペレータは容易に機械をセットアップし、作動できます。このツールの統合されたコンピュータは、操作を簡単かつ直感的にするユーザーフレンドリーなグラフィカルインターフェイスを備えています。TOKYO ELECTRON Polaris 3500は、高精度・高精度の電子デバイスを製造するための優れたツールです。その高度なフォトレジスト資産は、出力の範囲と相まって、複雑なパターン化タスクを達成するための理想的な選択肢となります。メンテナンス性が低くユーザーフレンドリーな性質のため、操作が簡単ですが、精密なアライメントシステムにより毎回正確な結果が得られます。