中古 FSI / TEL / TOKYO ELECTRON Polaris 3500 #9092708 を販売中

FSI/TEL/TOKYO ELECTRON Polaris 3500は、優れた品質のフォトレジスト層を製造できる最先端のフォトレジスト機器です。このシステムは独自のブラインド露光技術を使用しており、広い領域での欠陥を最小限に抑えて正確かつ再現可能な画像転送を可能にします。最大直径300mmの大型ウェハを高スループットで加工可能です。フォトレジストユニットは、高度なモーションコントローラによって制御された高精度のウエハハンドリングマシンを内蔵し、最も脆弱な基板でも取り扱うことができます。また、露光源に対して基板を正確に配置するための高分解能リニアステージと、露光時の安全な動作を保証するUVブロッキングハウジングを備えています。FSI Polaris 3500は、可能な限り最高品質のフォトレジスト層を生成するように設計されています。エネルギー、用量、時間などの露出パラメータを制御する自動レシピ処理アセット（ARPS）を搭載し、予測可能な方法で非常に均一なレジスト層を生成することができます。TEL Polaris 3500は、クラス最高のスループットとプロセス安定性を実現します。ウエハの欠陥を低減するように設計された先進的な裏面洗浄装置と、レジストレイヤーの高速処理を可能にするラピッドランシステムを備えています。また、エッジフリーの表面前処理機を搭載し、基板の端にレジストが蓄積するのを防ぎ、パターン品質を向上させます。TOKYO ELECTRON Polaris 3500は、信頼性と効率の高いフォトレジストツールです。モジュラー設計によりメンテナンスが容易になり、アセットは高度な制御アルゴリズムを使用して効率的なエネルギーと線量露出を実現し、最高レベルのプロセス信頼性を確保します。全体的に、このフォトレジストモデルは優れたプロセス結果を提供し、幅広い半導体アプリケーションに最適です。