中古 FSI / TEL / TOKYO ELECTRON Polaris 3500 #293616823 を販売中

FSI/TEL/TOKYO ELECTRON Polaris 3500は、精度の高いマイクロエレクトロニクスおよびオプトエレクトロニクス部品の製造に使用されるフォトレジスト機器です。このシステムは、高度なステッピングモーターモーションユニットと独自のソフトウェアを使用して、基板に含まれるフォトレジスト材料の特定の領域を正確に露出および除去します。このマシンは、最適化されたフォーカスマグネットと低ノイズシャッター設計を備えており、露光プロセスでサブミクロンの精度を得ることができます。このツールは、非常に高解像度で光パターンなどの画像形状を生成することができるビーム最適化された照明器を使用しています。この照明器は広い範囲の光の波長を提供し、よりよい収穫のための非常に反復可能で、精密な光パターンを作成する容量があります。さらに、照明器には絞り照度モニターがあり、正確な照度監視が可能です。このアセットには、投影光学用のデジタルレンズモデルがあります。これにより、投影レンズの正確な位置決めが可能になり、簡単なアライメント、繰り返しパターンの品質の向上、解像度の向上、視野全体にわたって再現可能な均一な性能を提供します。装置の中心は8インチのチャックステージで、加工中に基板を正確に配置できます。マルチポイントチャックシステムは、高い反復性で滑らかな動きを提供しながら、基板を確実に内部に保持することができます。ステージには、基板のサイズ、タイプ、位置、温度測定を検出するセンサーが装備されています。また、マルチMESFET （Multi-Channel、 Electron-Selective-Field-Melting）フィルムモジュールを搭載し、基板からフォトレジスト材料を正確に露出・除去します。このモジュールは、複数のMESFETチャンネルをサポートしています。フォトレジストプロセスモジュールとともに、フィルムモジュールはフォトレジストプロセス中に非常に反復可能で正確な制御を提供します。FSI Polaris 3500は、精度の高いマイクロエレクトロニクスおよびオプトエレクトロニクス部品を製造するために設計された革新的なフォトレジストマシンです。その最適化された照明器、デジタルレンズツール、チャックステージ、マルチMESFETフィルムモジュールは、比類のないツーリング機能と生産精度を提供します。