中古 FSI / TEL / TOKYO ELECTRON Polaris 2200 #9148882 を販売中

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ID: 9148882
Cluster spray coating / Processing system Computer control (2) STAUBLI UNIMATION robotic arms Nesting station Chill unit.
FSI/TEL/TOKYO ELECTRON Polaris 2200は、チップ製造から光学アプリケーションまで、幅広い製造プロセス向けに設計された高性能フォトレジスト装置です。大量生産と高度な研究開発の両方に理想的なツールです。FSI Polaris 2200は、ウェーハ、基板、および光学系の正確な処理のための高精度の線形5軸ロボットを備えています。正確な光学イメージングのための低ゆがみレンズが付いている高性能の投射の光学システム;精密な動き制御のための高精度の閉鎖ループ単位;そして広範囲の安全特徴。このマシンは、お客様に最高のスループット、クラス最高の画質、およびプロセス制御を提供するように設計されています。TEL Polaris 2200は、リソグラフィやウェーハ・光学検査における最新技術を活用し、優れた画質とライン品質で再現可能な画像を生成します。このツールのユニークなプロセスレシピは、幅広い処理オプションと柔軟性をお客様に提供します。さらに、その高度な画像検査技術は、高い信頼性の生産を保証します。Polaris 2200は包括的なプロセス制御を提供し、お客様は個々の要件に応じて生産プロセスを迅速にカスタマイズできます。統合されたレシピジェネレータ、高度な計測機能、直感的なユーザーインターフェイスを備えています。TOKYO ELECTRON Polaris 2200は直感的なソフトウェアパッケージも提供しており、生産量、作業パラメータ、トレンドを簡単に監視できます。これにより、最適なプロセス制御と歩留まりが保証され、お客様が潜在的な改善点を特定できるようになります。さらに、自動化された機能により、アセットはあらゆる不規則性を従業員に通知し、迅速に対応することができます。FSI/TEL/TOKYO ELECTRON Polaris 2200は、大量生産と高度な研究開発の両方のために設計されています。それは生産の適用の広い範囲によく適し、高度の特徴はそれをさまざまな顧客の要求のために適したようにします。その信頼できる性能および費用効果が大きい操作は最高の顧客満足を保障します。
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