中古 FSI / TEL / TOKYO ELECTRON Polaris 1000 #9264626 を販売中

FSI Polaried 1000 （FSI/TEL/TOKYO ELECTRON Polaris 1000）は、半導体製造プロセスで使用されるフォトレジスト機器です。フォトレジストは、デバイスのさまざまな層にパターンを作成するために、半導体ウェーハの表面に適用される感光材料です。これは、トランジスタ、コンデンサ、およびその他のコンポーネントを正確かつ正確に配置できるため、集積回路の製造にとって重要です。FSI Polaris 1000システムは、深紫外線（DUV）を使用して、さまざまな基板上のフォトレジストを素早く露出します。このライトは、400mmチタンドープサファイア（Ti： S）ランプ1個で提供され、250nmの波長で光を届けます。さらに、長方形の平行、環状、均一なスキャンなど、さまざまな照明モードに対応できます。TEL Polaris 1000は、フォトリソグラフィ関連のパラメータを測定するために使用される、全自動の充電結合デバイス（CCD）計測機を備えています。このツールは、ウェーハ表面の画像のリニアリティとホット/コールド変位を測定することができます。さらに、このアセットには、フォトレジストが正確に露出するようにシャッターとオートフォーカスモジュールが装備されています。Polaris 1000はクリーンルーム環境で使用するように設計されています。クラス1,000で評価されているため、空気の1立方フィートあたり0。5 μ m以上の1000粒子以下のクリーンルーム環境を維持するように設計されています。さらに、このモデルは最大50個のレシピを保存できるため、繰り返し操作をすばやくプログラムできます。TOKYO ELECTRON Polaris 1000は、半導体メーカーにとって使いやすく、信頼性が高く、効率的なフォトレジスト装置です。さまざまな基板上に高精度な画像を生成することが可能であり、CCD計測システムにより、重要なプロセスパラメータを正確に測定することができます。FSI/TEL/TOKYO ELECTRON Polaris 1000は、あらゆる半導体製造設備に最適です。