中古 FSI / TEL / TOKYO ELECTRON PFA Turntable for Mercury #9354525 を販売中

FSI/TEL/TOKYO ELECTRON PFA Turntable for Mercuryは、ウェーハや基板の高精度加工を目的としたフォトレジスト装置です。このフォトレジストシステムは、ワークの正確な輸送と加工を可能にするダブルスリーブ「ターンテーブル」設計を備えています。このユニットは、正確な位置決めと処理を確実にするために、環境および基板の位置の変化を継続的に監視および調整する統合センサーを備えています。ターンテーブル自体は、部品の簡単なアップグレードまたは交換を可能にするモジュール設計で構成されています。FSI PFAターンテーブルfor Mercuryは、多くのフォトレジストプロセスに非常に信頼性が高く効果的なソリューションを提供します。200mm （7。87インチ）までの基板加工が可能です。水銀フォトレジストは、より高い精度のためにモーターによってターンテーブル上で回転する基板に噴霧して適用することができます。テーブル表面には統合されたフロー制御機械があり、スプレーされると同時に均質な溶液を維持します。また、ターンテーブルには精密ローラーが搭載されており、加工中に基板が正確に移動し、移動しないようにしています。ターンテーブルも自閉式で、幅広い安全機能を備えています。これらには、障害または閉塞の場合に資産を自動的に停止する過負荷モニタリングツールが含まれます。さらに、ターンテーブルには2つの緊急停止スイッチと2つの中央にアクティブ化された安全スイッチがあります。また、基板に印加された圧力を監視し、潜在的な損傷を防ぐ圧力センサも備えています。TEL PFAターンテーブルfor Mercuryは、高精度な加工結果をユーザーに提供するために設計された非常に効率的で信頼性の高いモデルです。使用することは非常に安全であり、基板の位置および処理の完全な制御を提供します。この装置は、効果的で効率的なフォトレジスト処理システムをお探しの方に最適です。