中古 FSI / TEL / TOKYO ELECTRON PFA Turntable for Mercury #9301950 を販売中

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ID: 9301950
ウェーハサイズ: 6"
6".
FSI/TEL/TOKYO ELECTRON PFA Turntable for Mercuryは、最新の革新的な技術を活用して、ユーザーに高解像度の画像処理と優れた再現性を提供するフォトレジスト機器です。このシステムは、パターニングや高アスペクト比などの特殊な機能を備えたものを含む、複雑で繊細なフォトレジストの処理を可能にします。そのコンポーネントには、エンコーダ、電動XYステージ、2ダイオードレーザー、4倍のTTLズーム範囲を持つ顕微鏡カメラ、最大解像度5nmの惑星画像解析の2つの回転ステージが含まれています。ターンテーブルの2つの回転ステージは、それぞれが独立して動作するため、最高の精度と速度を提供します。第1ステージはマスターステージで、モーターによって駆動され、第2ステージはユニットのエンコーダによって制御されます。この全機械は最高の正確さおよび精密制御を保障するために調整される精密です。さらに、ツインダイオードレーザーは、フォトレジストの迅速かつ正確なパターニングを可能にします。これにより、フォトレジストの処理効率を最大限に高めることができ、より高解像度のイメージングが可能になります。さらに、4倍のTTLズームレンジを備えた顕微鏡カメラは、細部の優れた画像処理をユーザーに提供します。これにより、薄膜成膜やエッチングなどの材料やプロセスの数を研究することができます。さらに、最大解像度5nmの画像解析は、ユーザーが重要なプロセスやパラメータを分析、監視、制御する能力を向上させる惑星法を使用しています。このツールは、フォトレジスト製品の歩留まりを改善し、イメージングの信頼性を高めるために非常に便利です。全体として、FSI PFAターンテーブルfor Mercuryは、優れたイメージングと最大の再現性を確保するための最先端の技術を採用した先進的な資産です。2つの回転ステージと高解像度イメージングにより、フォトレジストの生産効率を最大限に高めることができます。さらに、ツインダイオードレーザーは正確なパターニングを容易にし、画像解析により、フォトレジストプロセスをより良く分析および制御することができます。
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