中古 FSI / TEL / TOKYO ELECTRON PFA Turntable for Mercury #9252200 を販売中

FSI/TEL/TOKYO ELECTRON PFAターンテーブルfor Mercuryは、リソグラフィ用途向けに設計された高精度フォトレジスト装置です。ターンテーブルは、回転機械プラットフォームと高度なフォトレジスト搬送システムを使用して、さまざまな基板サイズと形状のフォトレジストの均一なコーティングを提供します。このユニットは、露出とコーティングの安定性を維持しながら、優れたスループプットを提供し、生産リソグラフィで最も要求の厳しい要件を満たすように設計されています。ターンテーブルマシンは、洗練されたクローズドループ制御アーキテクチャを備えており、基板回転時の重要な方向と速度パラメータを正確に制御し、プロセスのカバレッジの均一性を最大限に高めます。この精密プラットフォームは、プロセス全体にわたって高精度で低ノイズとドリフトを提供するように設計されています。ターンテーブルは、ダイレクトドライブモータツールと超精密角エンコーダを使用して、振動や空気の乱れによるセトリング誤差を最小限に抑えます。これにより、プロセス結果の再現性が保証され、リソグラフィ用途の厳しい公差内で回転精度と均一度を維持することができます。ターンテーブル前面に水銀源を取り付け、基板へのフォトレジストの信頼性、安定性、エネルギー効率の高い供給を提供します。また、高度な制御アルゴリズムを使用してソースを最適化し、プロセス全体で一貫した画像の均一性を確保することもできます。これは、偶発的なプロセス汚染のリスクを低減し、安全システムの数が装備されています。さらに、ターンテーブルはクイックチェンジ機能を備えており、基板の同時積み降ろしを可能にし、生産性を向上させます。このプラットフォームは、石英、ガラス、シリコンウェーハ、有機基板など、さまざまな形式の基板と互換性があります。150mm、 200mmまたは300mmを含む積載量の選択により、これらのウェーハは迅速に処理され、リソグラフィープロセスに必要な精度と再現性を提供します。FSI PFAターンテーブルfor Mercuryは、高精度のドライブモデルと最新のフォトレジスト配送機器と最新の安全機能を組み合わせた、コンパクトでユーザーフレンドリーな設計で、リソグラフィーアプリケーション向けの信頼性の高いソリューションを提供します。