中古 FSI / TEL / TOKYO ELECTRON PFA Turntable for Mercury #293653294 を販売中

FSI/TEL/TOKYO ELECTRON PFAターンテーブルfor Mercuryは、半導体製造の最先端フォトレジスト機器です。これは、リソグラフィープロセスの進歩のための高性能ソリューションを提供します。このシステムは、高度なMercuryハイエンドフォトレジスト加工技術と組み合わせた超精密ターンテーブルのプラットフォームを使用しています。FSI PFAターンテーブルは、25nmの小型構造物の生産を可能にしながら、信頼性の高い高級生産を提供します。このユニットは、優れた精度を提供し、優れたオーバーレイ精度で複雑なパターンの分解能を可能にします。そのモジュラー設計は、カスタマイズ可能な構成の広い範囲を可能にします。ターンテーブルには、完全なフォトレジストプロセスを可能にするプロセスステーションが内蔵されています。統合されたホットプレート、噴水、および内部拡散ポンプが含まれています。統合された熱い版はよい均等性の高温機能を備えています。また、急速に動くホットプレートを備えており、速いターン時間と効率的なサイクリングを可能にします。噴水は正確な結果が達成されるように均一な液体の配分および正確な適量を促進するように設計されています。拡散ポンプは、プロセスからさまざまな不要な粒子を除去するのに役立ちます。FSI PFAターンテーブルfor Mercuryも温度フィードバックを備えているため、温度は継続的に監視されます。これにより、熱およびプロセスのドリフトを最小限に抑え、パフォーマンスと一貫性を向上させます。さらに、LVMS （Laser Video Measurement Machine）を統合しており、プロセス制御とレシピ印刷のための自動データ収集を開始します。このツールは、パターンの位置と向きを正確に制御する128ビット多方向エンコーダを備えています。その他の機能には、囲まれたデザインとクリーンルーム対応のステンレス製構造があり、安全でクリーンな動作環境を確保します。PFAターンテーブルは他のプロセスツールとも互換性があり、幅広いカスタムソリューションを提供しています。これらのすべてのコンポーネントの組み合わせは、パターンの配置とパラメータの非常に正確な制御を再現性と信頼性の高いプロセスを提供するのに役立ちます。全体として、TEL PFAターンテーブルfor Mercuryは、半導体製造に最適な信頼性と効率の高いフォトレジスト資産であり、優れた精度と再現性を提供します。モジュラー設計により、幅広いカスタマイズ可能な構成が可能になり、高温統合により高性能ソリューションが保証されます。