中古 FSI / TEL / TOKYO ELECTRON PFA Turntable for Mercury #293640260 を販売中

FSI/TEL/TOKYO ELECTRON PFA Turntable for Mercuryは、様々な材料加工用途向けに設計されたフォトレジスト装置です。このフォトレジストシステムは、幅広い材料で高品質で再現性のある薄膜の迅速かつ再現性のある成膜を可能にします。FSI PFAターンテーブルfor Mercuryは、独自の「Lift and Push」メカニズムを使用して薄膜を基板に堆積させるため、サンプルの複雑な手動操作が不要です。この機構により、フォトレジストの厚みを同時に制御しながら、均一かつ高精度に適用することができます。このユニットは、3チャンネル出力段を使用して、調整可能な膜厚と蒸着エネルギーレベルを可能にします。薄膜成膜に加えて、同じフォトレジスト設定で複数のサンプルを迅速にバッチ処理できます。これにより、ツールに価値が追加され、効率が向上します。TEL PFAターンテーブルfor Mercuryも処理条件をリアルタイムで追跡し、データを保存して分析します。PFAターンテーブルは、照射のための広い波長を提供する水銀ランプと水銀ビームの鋭い焦点のための高度な光学資産を備えています。使用される水銀ランプの選択は、加工される材料によって異なり、品質と再現性の向上したテーラーメイドされた薄膜の堆積を可能にします。TOKYO ELECTRON PFA Turntable for Mercuryには、フォトレジストやその他の揮発性材料の残りの痕跡を基板から排出する真空モデルも搭載されており、ピンホール形成のない望ましい材料のクリーンで均一な成膜を実現しています。結論として、FSI/TEL/TOKYO ELECTRON PFA Turntable for Mercuryは信頼性の高いフォトレジスト機器であり、薄膜を堆積する作業を短時間で行うことができます。このフォトレジストシステムは、直感的な「リフト&プッシュ」メカニズム、リアルタイムデータトラッキング、および照射オプション用の水銀ランプにより、比類のない精度、一貫性、再現性を提供し、あらゆる材料加工アプリケーションに最適です。