中古 FSI / TEL / TOKYO ELECTRON PFA Turntable for Mercury MP #293808180 を販売中

FSI/TEL/TOKYO ELECTRON PFA Turntable for Mercury MPは、薄膜基板をスピンしてフォトレジストの表面へのパターンのエッチングを可能にするフォトレジスト装置です。この革新的なシステムは、高い生産スループットで信頼性が高く、正確で効率的な処理を可能にするように設計されています。このユニットの基本設計は、手動回転用の角度付きラジアルアーム、スピン速度制御用の惑星モーター、基板ウエハをスムーズかつ安全に保持するためのチャックで構成されています。220°の垂直ダイナミックで調整可能なモーションレンジにより、スピンカセットから基板を簡単にロードおよびアンロードできます。この機能は、アームを調整して基板を安定させ、スピンコーティング工程中に一定の回転を維持できる、均一な薄膜スピンコーティング工程にも役立ちます。PFAのターンテーブルは陽極酸化されたアルミニウム部品、極度の滑らかな線形軸受けおよび耐久のカップリングのような最後に設計された頑丈な部品と、造られます。その信頼できるアセンブリは最低の振動、最高の工具寿命および正確さを保障します。また、オプションの耐酸性コーティングを採用しており、フォトレジストやエッチング材の化学成膜にも耐えられます。スピンドル回転は、0。1 Hzまで正確な可変周波数ドライブを介して制御され、100〜20,000 RPMの低速範囲制御機能を提供します。このドライブには、自動加速と減速制御を備えたデジタルセットポイント制御、モータと基板の超過速度保護も装備されています。Mercury MP用FSI PFAターンテーブルは、信頼性が高く、効率的で正確なフォトレジスト処理を提供し、高レベルの生産スループットを実現するように設計されています。その先進的な設計と構造、その電動ラジアルアームと調整可能な運動範囲は、ローディングから基板ウェーハのアンロードまで、最適なスピンコーティングプロセスを可能にします。頑丈なコンポーネントと信頼性の高いアセンブリにより、最も過酷なフォトレジストアプリケーションを容易に処理できます。