中古 FSI / TEL / TOKYO ELECTRON PFA Turntable for Mercury MP #293650475 を販売中

FSI/TEL/TOKYO ELECTRON PFA Turntable for Mercury MPは、半導体製造工程における製造用に設計されたフォトレジスト装置です。優れた性能、優れた速度、および優れた精度を提供するように設計されたスタンドアロンの単軸装置です。ターンテーブルの先進的なモータ技術は、半導体業界で重要な高精度のリニアモーションと精度を生み出します。デュアルレーザー加速と減速接続、特許取得済みの低振動フィードコントロールシステム、および簡単に設置できるセルフセンタリングベースプレートを備えています。水銀MP用のFSI PFAターンテーブルは、さまざまなprototyeおよび生産層フィルムを処理することができ、ターゲットとするアプリケーションのための照明とコントラスト比の広い範囲を可能にします。エアーナイフユニットを内蔵することで、加工チャンバー内の基板周りに再現性のあるエアギャップを作り出し、基板の効果的で均一な冷却を実現します。この機能は、生産プロセスにおける重要な表面凍結プロセスに役立ちます。また、高出力の水銀ランプを使用し、基板表面に均一で一貫した照明を提供し、均一性を向上させます。ターンテーブルは、時計回りと反時計回りの両方の方向で高精度の直線運動と速度を生成することができるデジタルサーボモータで設計されています。この機能により、高速で部品を正確に回転させることができます。さらに、ターンテーブルはデジタルレーザーアライメントツールを使用して、正確さと均一性を確保します。高精度レーザーアライメントにより、高度な半導体プロセスに必要な安定性と精度を実現します。優れた加工精度に加えて、TEL PFAターンテーブルfor Mercury MPには、数多くの強化機能が搭載されています。最適な加工エンベロープを維持するためのスキャンバー装置、熱変形を最小限に抑えるために設計された液冷システム、クリーンでデブリのない処理環境を可能にする低圧保持ユニットを備えています。また、トラブルシューティングとメンテナンスを支援するオンライン自己診断ソフトウェアも付属しています。全体として、PFAターンテーブルfor Mercury MPは、半導体生産プロセスにおいて信頼性が高く効率的なフォトレジスト機です。高精度のリニアモーションとスピードを提供し、高度なモータ技術とレーザーアライメントシステムを備えており、正確で均一な処理が可能です。このツールは、内蔵の機能により、プロトタイプおよび生産層フィルムの処理に効果的で低メンテナンス環境を提供します。