中古 FSI / TEL / TOKYO ELECTRON Orion #9391810 を販売中

FSI/TEL/TOKYO ELECTRONオリオンは、半導体製造業向けに設計されたフォトレジスト機器です。フォトレジストは、多くの半導体製造プロセスで使用される、半導体材料のクリーンで滑らかな表面を作成するための化学物質の一種です。FSIオリオンフォトレジストシステムは、精度、微細な制御、高性能を提供するライン半導体加工ユニットのトップであり、クリーンでシャープなリソグラフィ結果を生み出します。TEL Orionは、高い反復速度と超短パルスレーザーを含むさまざまなソース構成を使用して、高精度のフォトレジストパターンを作成します。高度な波長制御と高いチューニングが可能な光学プロセスにより、10ナノメートルまでのサイズの特徴をパターン化することができます。フォトレジスト層は高精度に制御されており、均一な成膜が可能です。また、多種多様なフォトレジスト材料を取り扱うことができ、様々なリソグラフィープロセスを開発することができます。アセットの主な機能は、パターニング、クリーニング、温度制御、乾燥、ベーキングです。薄膜の品質をコントロールしながら、微細なフォトレジストを生成します。精密な温度制御によって、モデルは材料を速くそして安全にきれいにし、乾燥させることができます。この装置はまた、精密なベーキングプロセスを提供し、エッチング工程中のリソグラフィ結果を改善するのに役立ちます。高性能、精密、制御に加えて、システムには最先端の安全性と環境機能も含まれています。TOKYO ELECTRONオリオンユニットは、安全でクリーンで効率的なフォトレジスト加工により、一貫したプロセス性能と高解像度のリソグラフィ結果を保証します。Orionフォトレジストマシンは、半導体ウェーハのクリーンで正確な機能を迅速に作成するための信頼性と費用対効果の高い方法を必要とする半導体メーカーにとって理想的なツールです。その高度な機能、正確な制御、信頼性の高いプロセス結果により、あらゆる半導体製造プロジェクトに最適です。