中古 FSI / TEL / TOKYO ELECTRON Orion #9384197 を販売中

FSI/TEL/TOKYO ELECTRONオリオンは、半導体部品の製造に使用されるフォトレジスト機器です。フォトレジストシステムは、ナノスケールレベルで部品を作成するために使用される材料の正確な調整を可能にします。FSIオリオンシステムは、暗場、反射、透過イメージングが可能なフォトレジストのアッシング、ストリッピング、開発ユニットです。VRIE （Vacuum Reactive Ion Etching）プロセスとNRD （Non-Reflective Deposition）プロセスを組み合わせることで、高精度と制御を実現します。この機械は急速なashing時間および十分に自動化された順序のランニングのプロセス効率を最大にするように設計されています。TELオリオンは、ポリイミド、水素シルセスキオキサン、フォトポリマー、ベンゾシクロブテン、陰性および陽性フォトレジストなど、さまざまなフォトレジスト材料を処理できます。また、基板洗浄、エッチング、エッチングバック、ストリッピング、レジスト硬化、温度アニーリングなど、複数の同時プロセス操作が可能です。このツールには1。3ギガワットの無線周波数ソースが装備されており、基板全体で均一なエッチング速度が得られます。温度精度の向上、プラズマ条件の最適化、ガス混合の使用により、エンドユーザーのプロセス精度が向上します。さらに、リアルタイムデータ収集のためのオプションのインライン検査モデルにより、幅広い条件で信頼性とデバイスの完全性を提供します。また、OrionはFSI独自のソフトウェアで完全に自動化でき、大量生産ラインにとって非常に貴重なツールとなっています。また、自動化されたマテリアルハンドリングとランスケジューリングで管理することは非常に簡単です。そのため、ユーザーは手動でデータを入力したり、ハードウェアを常に調整したりする必要はありません。TOKYO ELECTRON Orionは、幅広いプロセス条件において優れたデバイス整合性を実現する、高精度で効率的なフォトレジスト装置です。大量生産に最適で、自動化された管理が容易なプロセスを提供します。急速なアッシング時間と精度の向上により、このシステムはあらゆる半導体製造プロセスにとって非常に貴重なツールです。