中古 FSI / TEL / TOKYO ELECTRON Orion #9384186 を販売中

FSI/TEL/TOKYO ELECTRONオリオンは、半導体リソグラフィ用の次世代フォトレジスト機器です。これは、極端な紫外線（EUV）リソグラフィ、深い紫外線（DUV）リソグラフィ、拡張光学リソグラフィなどの技術の最新の進歩に対応するように設計されています。FSI Orionシステムは、パターンライティング、ウェーハ管理、露出、ポストプロセスの最新の進歩を備えています。このユニットは、業界をリードする解像度とスループットを提供するように設計されています。また、精度と精度のための最高の要件を満たしています。TELオリオンマシンには、ウェーハローダー/アンローダーアセットとステッパー/スキャナプラットフォームを備えた多軸マスク書き込み/アライメントツールがあります。マスクライティングモデルは、複数の波長と高解像度のイメージング機器、複数の層を持つ基板、およびサブナノメートルレベルでのアライメントが可能なマスクアライメントシステムで構成されています。ウェーハローダー/アンローダーユニットは、基板およびプレートを迅速かつ正確にロードおよびアンロードする機能を提供します。ステッパー/スキャナプラットフォームは、さまざまなリソグラフィ技術で高精度の超微細パターンをイメージングすることができます。TOKYO ELECTRONオリオンマシンは、インラインプロセスの監視と制御を可能にする統合計測機能も備えています。このツールには、ウェーハ内のサブナノメーター機能を検出できるデュアル波長計測アセットが含まれています。また、デュアル波長計測により、ウェハレベルの残差を解析することができ、プロセス制御を強化することができます。このモデルには、統合されたプロセスレシピライブラリと、一貫したプロセスパフォーマンスを確保するための高度なインラインプロセス制御も含まれています。オリオン装置は、他のハイエンドリソグラフィーシステムと競争力のあるコストで優れたリソグラフィ性能を提供するように設計されています。このシステムは拡張性を備えて設計されており、必要に応じてモジュール拡張が可能であり、新しい技術やプロセスが導入されるにつれてアップグレードが容易に実装できるようになっています。ユニットは非常に柔軟性があり、異なるリソグラフィーソリューションに対応するために簡単に構成することができます。さらに、このマシンには広範なリモートサポート機能があり、ツールパフォーマンスとアップグレードのリモート表示が可能です。これにより、より高いレベルのカスタマーサービスとサポートが可能になります。全体として、FSI/TEL/TOKYO ELECTRON ORIONは、技術の進歩に対応し、業界をリードする解像度とスループットを提供するために設計された主要なフォトレジスト資産です。このモデルの柔軟性、拡張性、リモートサポートは、半導体リソグラフィにおいて競争力のある選択肢となる重要な機能です。