中古 FSI / TEL / TOKYO ELECTRON Orion #9384180 を販売中

FSI/TEL/TOKYO ELECTRONオリオンは、これまで以上に高精度で忠実な半導体回路のパターニングを可能にするフォトレジスト（PR）装置です。このシステムは、リソグラフィを使用して、マスクまたはレチクルからパターンを応用光を使用して基板に転送します。FSIオリオンユニットは、最新の半導体アプリケーションの高精度パターニングに適した多種多様な機能を備えています。TELオリオンマシンは、デュアル波長照明源を利用することで、実現可能なサイズよりも小さい極めて微細なパターンを作成することができます。光源は紫外線（UV）と極端な紫外線（EUV）を同時に放出する能力を持ち、0。7〜10。2 μ mの調整可能なフォトスポットサイズを備えています。さらに、このツールは光学的に統合されたチャンバーを備えており、従来のリソグラフィーシステムに比べて光学性能が大幅に向上しています。Orion Assetは、光学機能に加えて、他の技術的な機能も充実しています。これには、露光時間を大幅に短縮できる独自の高速シャッターモデルが含まれています。さらに、それは潜在的に化学物質および大気中にあるかもしれない非常に荷電した粒子から装置の部品を保護する保護コーティングを備えています。TOKYO ELECTRONオリオンシステムは、高度なコンピューティング機能を使用して、PRの細かい側面を制御します。これには、線量、照明波長、フォーカスおよびオートフォーカス精度、倍率、線形および角度誤差、およびその他の詳細などの露出パラメータを制御することが含まれます。ユーザーインターフェイスは、ユニットのパラメータを制御するための使いやすいグラフィカルインターフェイスを提供する直感的なレイアウトで設計されています。全体として、FSI/TEL/TOKYO ELECTRON ORION machineは、最新の半導体アプリケーションでの使用に適した機能と機能を提供する高度なPRツールです。デュアル波長機能、調整可能なフォトスポットサイズ、保護コーティング、高度なコンピューティング機能を組み合わせることで、高精度で高精度なPRアセットをお探しのお客様に最適です。