中古 FSI / TEL / TOKYO ELECTRON Orion #9384177 を販売中

FSI/TEL/TOKYO ELECTRONオリオンは、光を利用して基板上にパターンを作成するリソグラフィ用に設計された先進的なフォトレジスト機器です。このシステムは、アルゴンフッ化物（ArF）エキシマレーザーやダイオードレーザーなどの光源を使用して、パターンを基板に転送します。転送は、光の強度の操作によって可能になります。基板は、特定の波長の光に敏感なフォトレジストと呼ばれる放射線感受性材料で構成されています。このユニットは、光強度の制御により、正確なパターンと精度で機能を作成することができます。このマシンには、ホストコンピュータ、不活性または真空エンクロージャ、フォトレジストコーティング剤、ガスフローユニット、露光光学が含まれています。ホストコンピュータは、ツールのコンポーネントを監視する専用のプログラマブルロジック制御（PLC）を実行します。ユーザーの入力に基づいてパターンやレシピスクリプトを実行でき、リアルタイムでパラメータを調整できます。不活性エンクロージャまたは真空エンクロージャは、フォトレジストのより正確な露出のために基板の周りの環境を操作することができます。フォトレジストコーティング剤は、フォトレジストを基板に堆積させる役割を担っています。それは基質にフォトレジストの液滴を提供するノズルを介して提供されます。ガス流量ユニットは、資産の運用のために窒素やアルゴンなどの不活性ガスを供給する責任があります。モデルの露光部分には、光源と光の強度を制御するためのフォーカシングオプティクスが含まれています。この装置は、0。05ミクロンの寸法の構造を作成することができます。このシステムは、マイクロエレクトロニクスまたは半導体デバイス部品の作成に最適です。また、MEMS（マイクロエレクトロメカニカルシステム）の研究開発にも使用されています。光源の強度を制御することでパターン形成の精度を実現します。ユーザーはまた、フォトレジストのパターンをさらに改善するためにポスト露出ベーキング条件を調整することができます。FSIオリオンは、各種リソグラフィ用途において基板上に精密なパターンを提供できる先進的なユニットです。