中古 FSI / TEL / TOKYO ELECTRON Orion #9298710 を販売中

FSI/TEL/TOKYO ELECTRONオリオンは、半導体ウェーハ上のフォトレジストパターンの開発・イメージングに使用されるフォトレジスト機器です。マイクロエレクトロニクス業界におけるウェーハや基板の正確なパターニングと耐性を可能にする完全自動化されたツール/システムです。FSIオリオンフォトレジストユニットは、イメージングステーション、スピンステーション、ホットプレートステーション、部品取り扱いと移動のための自動ロボットで構成されています。イメージングステーションは、レーザー自動アライナー、マスクアライナー、UVランプ、ステッパー、イメージウィンドウで構成されています。レーザー自動アライナーを使用して、マスクをウェハ上に正確に配置します。マスクアライナーはウェーハ上のマスクをイメージするために使用され、UVランプはイメージングのための露出を提供するために使用されます。ステッパーとイメージウィンドウは、ウェーハのパターンを監視するために使用されます。スピンステーションは、ウェーハから基板にフォトレジストを転送するだけでなく、ウェーハ上のパターンを開発するために使用されます。回転は0から5万rpmまでウェーハを回転させることができるモーターを備えられた機械によって可能になります。ホットプレートステーションは、パターン化されたウェーハの上に感光材料の層を焼くために使用されます。ロボットは、異なるステーション間の部品を移動するために使用されます。5軸の動きを持ち、反復的な部品移動のための運動経路をプログラミングして記憶することができます。全体として、TEL Orionフォトレジストツールは、高精度パターニングに対応し、マイクロエレクトロニクス業界に必要な開発に耐える信頼性の高い正確なツールです。イメージングステーション、スピンステーション、ホットプレートステーション、ロボットなどのさまざまなコンポーネントで構成されており、すべてが連携してウェーハ上の正確なイメージングとパターンを保証します。