中古 FSI / TEL / TOKYO ELECTRON Mercury #9278150 を販売中

FSI/TEL/TOKYO ELECTRON MERCURYは、集積回路（IC）の製造に使用される世界有数のフォトレジスト機器です。最先端の電子ビームリソグラフィ技術を活用し、フォトレジスト層にサブ20ナノメートルフィーチャーを作成し、幅広い電子アプリケーションに対応しています。このシステムは、KHzスキャン周波数で動作する統合された光学結合スキャナとシングルビームソースを使用して、高精細、再現性、信頼性の高いリソグラフィ性能を提供します。このユニットは、電子ビームに基づいており、FSIによって開発された技術に抵抗し、信頼性が高く高度なものになっています。高度な機械設計は、工具制御を簡素化した堅牢なアーキテクチャに基づいています。リソグラフィープロセスは、機能的なソースと画像資産を中心としています。ソースモデルには、正確な電子ビーム生成、強度と線量の制御、およびピクセル完璧なリソグラフィを提供するための機械的およびプログラムされたアライメント機能が装備されています。さらに、マスクエッジアライメント、ビームセンタリング、ビームシェーピングなどの高精度なマスクエッジアライメントを手作業で行うことができます。FSI Mercuryシステムには、自動化されたプロセスパラメータとプログラム可能なプロセスパラメータが装備されているため、複数のウェーハとバッチで一貫性と再現性のある結果が得られます。この堅牢なユニットアーキテクチャは、QC （Quality Control）周辺機器を使用して、焦点調整、ビーム電流、エッチング深さなどのプロセスの安定性を監視することによって強化されています。さらに、さまざまな標準プロセスモジュールとハイエンドのリソグラフィーツールを使用して、複雑なチップ構造のカスタマイズ性を向上させています。さらに、このツールは、重要な機能サイズに対して1nm以上の精度で厳しい精度要件を満たすことができます。それは均等に分散させた軽いプロフィールおよび良質のイメージのための0。05度の傾きの角度を発生させ、一直線に並べることができる大気スキャナを含んでいます。このアセットは、統合された温度および湿度コントローラを利用して安定性を向上させ、時間の経過とともにオーバーレイエラーを低減することもできます。TEL Mercuryモデルは業界標準にも準拠しており、単層レジスト生産からマルチレベル金属化層まで幅広いプロセスモジュールでサポートされています。さらに、この機器は、さまざまなオートメーションソリューションと統合し、カメラベースの欠陥検査システム、レビューシステム、および自動製品のロードおよびアンロード・システムなどのインライン・プロセス監視およびトレーサビリティ・デバイスを統合することができます。TOKYO ELECTRON MERCURYシステムは、高精度、高精度、再現性の高い機能サイズを必要とする高精度のIC製造に最適です。その高度な機能のおかげで、世界中の複数のデバイスメーカーや研究機関で採用されています。