中古 FSI / TEL / TOKYO ELECTRON Mercury #9271575 を販売中

FSI/TEL/TOKYO ELECTRON MERCURYは、半導体製造に使用されるフォトレジスト機器です。これは、大量の高解像度パターンをウェーハに作成および転送するために使用される高度なリソグラフィーツールです。フォトレジスト（Photoresist）は、フォトリソグラフィにおいて、パターンを作成する露光媒体として使用される光感受性材料である。FSI Mercuryシステムは、印刷用のスキャン装置、フォトレジストコーティングおよび露出装置、クリーニングおよびベーキングプロセス、および後処理のための機械で構成されています。このスキャン装置は、ウェーハ表面にナノメートルスケールのパターンを作成するために高出力レーザーを使用します。フォトレジストコーティング機は、パターンが作成される前に、ウェーハにフォトレジスト材料の薄い層を適用するために使用されます。露光中、レーザービームは、特定のパターンでウェーハに適用され、所望の形状を作成します。クリーニングとベーキングプロセスは、フォトレジスト材料の加工層を硬化させ、破片を除去するために使用されます。最後に、ポスト処理ツールはパターンのさらなる発展のために使用されます。TEL Mercuryアセットは非常に信頼性が高く、高速で動作するように設計されています。また、正確なパターンと再現性を備えた高解像度の画像を作成することができます。これにより、大量のプロセスに最適であり、ツールの精度による廃棄物を削減できます。また、このモデルは簡単に修復して自動化することができ、効率を高めることができます。さらに、この装置は、ダブルパターニング、複数露光、マスクレスリソグラフィなどの高度なフォトリソグラフィープロセスに適しています。TOKYO ELECTRON水銀システムは、複雑なフォトリソグラフィープロセスのための強力なツールです。高解像度画像転送のための信頼性の高いツールを提供し、効率を高め、廃棄物を削減しながら、リソグラフィに必要な精度と再現性を提供します。その高度な機能は、生産を増やし、コストを削減するために使用することができ、それは半導体製造のための優れた選択肢となります。